Mashandisirwo Anoitwa TaC Coated Deflector Rings Kutsigira Kugadzikana Kwemaitiro Mumakamuri Anopisa Zvakanyanya

Kugadzikana kwemaitiro ese kunogona kukanganiswa zvakanyanya nekugadzikana kwezvikamu zvidiki, senge mukamuri re semiconductor rinopisa zvakanyanya. Chimwe chezvikamu izvi idenderedzwa remhepo. Iri mukati mekamuri uye inobatsira kudzora kuyerera kwegasi uye/kana kupisa. Kana tembiricha yakakwira zvakanyanya, zvinhu zvakajairika zvichapfekwa kana kuti zvidimbu zvichabuda zvichikanganisa kunaka kwewafer. Tac coating Mhete dze deflector dzinoshandiswa kubata mamiriro ezvinhu akaoma aya. Kupenda uku kunobatsira kuti ring igare kwenguva refu, zvinoreva kuti mukati mekamuri makasimba uye anogona kufanotaurwa kukura kwekristaro uye maitiro efirimu rakatetepa.

Basa reDeflector Rings muKuyerera kweGasi uye Kutarisira Kupisa

Gasi harina kugoverwa zvakaenzana; kunze kwekunge pakupisa kwakanyanya. Rinofamba nemapatani, ayo anosarudza kupararira kwekupisa uye kuumbwa kwezvinhu pawafers. Mhete dzeDeflector dzinobatsira munzvimbo iyi. Dzinoiswa panzvimbo dzakakosha mukati mekamuri kuti dzitungamire kuyerera kwegesi. Mhete iyi yakagadzirirwa kutungamira gasi rinopisa kuti riyerere pamusoro pewafer zvakanaka uye zvakaenzana pane dai raitenderera zvisina tsarukano. Musiyano mudiki wekupisa mukati mekamuri kana kuyerera kwegasi kwakadzikama. Izvi zvakakosha nekuti nzvimbo diki inodziya inogona kukanganisa kukura kwekristaro. Mumitsetse chaiyo yekugadzira mainjiniya vanoona kuti gasi harina kugadzikana uye ukobvu hwewafer hauna kufanana kana kuti zvikanganiso zvemupendero zvinoitika. Matambudziko iwayo anogona kuderedzwa nekushandisa deflector ring kuchengetedza mafambiro ari nani kubva pakutanga kusvika kumagumo edanho rekuita. Rimwe basa guru kutonga kupisa. Mumakamuri aya, kupisa kunogona kunge kwakakwira zvakanyanya uye kwakabatana munzvimbo dzakasiyana-siyana. Mhete iyi inobatsira mukuparadzira kupisa ikoko sezvo magasi anopisa achitenderera nepakati payo. Kupisa kwakaringana kunodzivirira kushushikana kusina kuenzana pawafer mukamuri. Izvi zvinobatsira mukudzokorora kubva pabatch kuenda kune batch. Kana mapoka ari kuita izvi mukushandiswa chaiko kwakadai seSiC kana GaN manufacturing, vanoona kuti mushure mekugadzira stable deflector rings, vanotora nguva shoma kugadzirisa mabikirwo ega ega. Maitiro aya ari nyore kudzokororwa nekuda kwehunhu hwemukati hwenzvimbo inofungidzirika. Hezvino zvauya TaC coating inobatsira: Yakasimba pakupisa kwakanyanya uye inoderedza mafambiro pamusoro anogona kukanganisa kufamba kwegasi. Ring deflector yakagadzirwa zvakanaka haishande seyuniti yega, asi inobatsira sisitimu yese kushanda zvinyoro nyoro negasi riri nani nekupisa mukati menguva yega yega.

Mabhenefiti eTaC Coatings pakurwisa kukanganiswa kwevhu nengura

Mumakamuri ane tembiricha yakakwira, zvikamu zvacho zvinoedzwa zvakanyanya padanho rega rega. Magasi anopisa anofamba nekukurumidza uye anopindirana nepamusoro uye anodya zvinhu zvishoma nezvishoma. Ndipo panobatsira chaizvo TaC (tantalum carbide) coating, kunyanya panyaya yekukukurwa kwevhu uye ngura. Kukukurwa kwevhu kunoitika kana chikamu chikabviswa zvishoma nezvishoma negasi kana zvidimbu zvinofamba nekukurumidza. Kunyangwe kukuvara kudiki nekufamba kwenguva kunogona kukonzera kuti pamusoro pacho pave nekuomarara, kuchinja chimiro chayo uye kushandura mashandiro. Pamusoro pechinhu TaC yakavhara graphite hita Chinhu chacho chakaoma zvikuru uye chakasimba kana tichienzanisa nezvinhu zvakawanda zvekutanga zvinoshandiswa muzvikamu zvekamuri. Izvi zvinoita kuti chirambe chakaita sechinotaridzika kwenguva yakareba kana gasi richiyerera zvakanyanya uye richigara kwenguva refu. Izvi zvinobatsira kuderedza kuchinja kwezvikamu kakawanda, nokudaro kudzivirira kugadzirwa kwenguva refu. Kuora idambudzikowo. Mumaitiro mazhinji e semiconductor, magasi anounzwa mukamuri rekuita anoshandiswa nemakemikari. Magasi aya ane simba rakanyanya pakupisa kwakanyanya. Anogona kusangana nenzvimbo dzakaratidzwa zvichikonzera kurasikirwa nezvinhu kana kusvibiswa. TaC coating inoshanda sechikamu chekudzivirira chinodzivirira maitiro aya. Haasvibiswe nyore nyore kunyangwe mumamiriro ezvinhu akaipisisa emakemikari kwenguva yakareba. Magasi anoshandiswa pakupisa kwakanyanya akajairika mumidziyo yekukura kweSiC crystal, semuenzaniso. Kana pasina dziviriro yakakwana, zvikamu zvekamuri zvinogona kuora nekukurumidza uye zvinoburitsa zvidimbu zvisingadiwe musystem. Maitiro aya anogona kuderedzwa nekushandisa TaC yakavhara zvikamu zvehafu yemwedzi , izvo zvichabatsira kuchengetedza kamuri rakachena uye rakagadzikana mukumhanya kunodzokororwa. Chinhu chakanaka ndechekuti kutsetseka kwenzvimbo kuchaitika nekufamba kwenguva. Nekudzikira kwekukukurwa kwevhu, pamusoro pacho panoramba pakaenzana. Izvi zvinobatsira kuona kuti gasi rinoyerera zvakaenzana uye zvinoderedza njodzi yekudonha kwemhepo. Vashandi vazhinji vanoti kugadzirisa ikozvino kwava kuita nguva dzose, kunofungidzirwa uye kusawanzoitika mushure mekushandisa zvikamu zvakaputirwa neTaC. Mukupfupisa, TaC coating inogona kushanda zvakanaka pakudzivirira. Inoshandiswa kuona kuti kamuri rakasimba mumamiriro ekushanda akaoma nekuona kuti zvikamu zvakakosha hazvikuvadzi uye hazvikuvadzi.

Kupesvedzera Kuchena Kwekamuri uye Kudzora Zvidimbu

Kuchena hakurevi chete kuchenesa nzvimbo dziri mumakamuri ekupisa kwakanyanya. Kudzora zvinoburitswa musystem panguva yekushanda. Zvidimbu zvidiki zvinogona kuwira pawafer zvokonzera zvikanganiso zvakaoma kugadzirisa. Ndosaka mhete dze deflector dzemakamuri dzakakosha zvikuru, kunyanya kana dzakaputirwa neTaC. Chinhu chikuru cheTaC coating ndechekuti inotungamira mukudzikira kwekupfeka kwepamusoro. Nekufamba kwenguva, pamusoro unopera, zvichiburitsa zvidimbu zvidiki mukamuri. Zvidimbu izvi zvinogona kutakurwa nekuyerera kwegasi uye kudonhedzwa pamusoro pewafer. Pamusoro pacho panoramba pasina kukanganiswa kwenguva yakareba kana deflector ring yakafukidzwa neTaC uye yakavharwa nekupisa negasi. Izvi zvinoderedza zvakananga njodzi yekuti zvidimbu zvigadzirwe mumatanho anotevera. Kuunganidzwa kwemakemikari idambudziko rinowanzoitika mumakamuri. Nekufamba kwenguva, zvimwe zvinhu zvinopindura kumagasi e process, uye zvinogadzira rough deposits. Izvi zvinogona kubva zvaparadzana uye kushanda senzvimbo dzekusvibiswa. Zvisinei, TaC coating inodzivirira maitiro aya, ichichengetedza pamusoro pakachena uye pakasimba. Shanduko mumatanho ekugadzirisa dzinowanzo kukonzera kuti zvidimbu zvishoma zvisingatarisirwi zvionekwe nemushandi, apo zvikamu zvakachengetedzwa zveTaC zvinoshandiswa. Pamusoro pekuchena, kuyerera kwegasi chinhu chakakosha. Nzvimbo yakatsetseka uye yakagadzikana inobvumira gasi kuyerera zvakanaka, pane kugadzira kutenderera pedyo nedenderedzwa. Zvidimbu hazviwanzo vharirwa kana kusvetuka-svetuka mukamuri kana kuyerera kwegasi kukaramba kuripo. Izvi zvichabatsira kuchengetedza nharaunda yese kuti idzorwe zvakanyanya panguva yekugadzirwa kwenguva refu.

Nyaya dzeKushandiswa kweMashandisirwo muAdvanced Epitaxy uye Deposition Systems

Mazhinji masisitimu e epitaxy ne deposition ane mwero wepamusoro wekutonga kwe deposition chamber kuti aise zvidimbu zvitete zvema wafers pama wafers. Aya zvidimbu anofanira kunge akafanana, uye akafanana kubva pakati kusvika kumucheto. Aya masisitimu anowanzo shongedzwa ne TaC coated deflector rings kuti ave nechokwadi chekuti system inoramba yakagadzikana panguva yekumhanya kwenguva refu uye inoda simba. Semuenzaniso, mukugadzirwa kwe SiC epitaxy, maitiro acho anoitwa patembiricha yakakwira pasi pekuyerera kwegasi kunoramba kuripo kwema reactants. Pasina kudzora kuyerera kwakasimba, kukura kwechikamu kunogona kusafanana uye zvichikonzera kusiyana kweukobvu mukati me wafer. Gasi rinopararira zvakaenzana pamusoro pe wafer zviri nani nekushandisa TaC coated deflector ring. Izvi zvinoguma nekukura kwakapfava uye mhedzisiro shoma yemucheto izvo zvinogona kukonzera matambudziko ekushanda kwemudziyo mushure mekukura. Pfungwa imwecheteyo inogona kushandiswa kune GaN deposition systems dze LEDs nemagetsi emagetsi. Maitiro acho anonyanya kugadzikana nekusiyana kwekupisa nekuyerera kwegasi. Kusagadzikana kudiki kunogona kutungamira mumisiyano mumhando yekristaro. Kuputira ne TaC kunovandudza kuramba kupisa nekurwiswa kwemakemikari, zvichikonzera kuwedzera maitiro ekufungidzira ekamuri mushure mekufamba kwakawanda. Kudiwa kwekugadzirisa makamuri kakawanda kunodzikira mune mamwe miganhu yekugadzira kana uchichinja kuenda kumaring eTaC coated deflector. Izvi zvinodaro nekuti nzvimbo dzemukati nemaumbirwo zvinoramba zvisina kuchinja kwenguva yakareba. Kana geometry yekamuri ikaramba yakafanana, magadzirirwo ekugadzirisa anogona kugadziriswa nguva nenguva. Chimwe chinobatsira masystem ekugadzirisa ma batch uko ma wafers akatevedzana anogadziriswa mu batch imwe chete. Aya masystem anoda kugoverwa kwakafanana kwekupisa nemagasi munzvimbo yakakura. Maring eTaC coated deflector anobatsira kuderedza turbulence yemuno nenzvimbo dzinopisa kuti zvive nyore kuwana kufanana kwema wafers ese ari mu batch. Mufekitori chaiyo, kugadzikana uku kunogona kuzviratidza muchimiro chekuderedzwa kwehuwandu hwema wafers akaraswa uye goho rinowirirana nekufamba kwenguva. Zvinobatsirawo kuderedza nguva yekushanda sezvo zvikamu zvichiramba zvichishandiswa kwenguva yakareba zvisati zvada kutsiviwa kana kucheneswa. Kune vese, marings eTaC coated deflector zvinhu zvakakosha zvinogona kuchengetedza epitaxy uye deposition systems kuti ive nechokwadi chekugadzikana uye kururama, kunyanya kune epamusoro-soro semiconductor magadzirirwo.