EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Ringi yeSiC Insert 0200-21111
Mhete yeAMAT 0200-21111 SiC Insert imhando yekamuri yesilicon carbide (SiC) yakagadzirwa nemazvo yakagadzirirwa kushandiswa mumidziyo yekugadzira semiconductor yepamusoro. Yakagadzirwa kuti igare yakasimba pakuisa plasma, tembiricha yakakwira, uye mamiriro ekushanda kwemakemikari, iyi mhete yekuisa inoita basa rakakosha mukudzivirira midziyo yekamuri uye kuchengetedza mamiriro ekushanda akagadzikana. Yakagadzirwa kubva kuSiC yakachena kwazvo, chikamu ichi chinopa simba rakanaka pakukanganiswa neplasma, kushushikana kwekupisa, uye kugadzirwa kwezvikamu, zvichiita kuti ive sarudzo yakanaka yekuisa uye kushandisa etch uko kunaka kwekamuri uye kuwanda kwewafer kuri kukuru. Tinogamuchira kubvunza kwenyu.
tsananguro
AMAT 0200-21111 SiC Insert Ring chikamu chekamuri cheSilicon Carbide (SiC) chinoshanda zvakanyanya chinoshandiswa zvakanyanya muzvishandiso zveApplied Materials semiconductor process. Yakagadzirwa kuti ishandiswe munzvimbo dzinopisa zvakanyanya uye dzinopisa zvakanyanya, inoita basa rakakosha mukudzivirira midziyo yekamuri uku ichichengetedza kugadzikana kwemaitiro.
Rudzi rweChigadzirwa & Zvinhu
Rudzi rweChigadzirwa: Isa Ring / Chamber Liner Component
Zvinhu: Silicon Carbide (SiC) yakachena kwazvo
Basa rekugadzira: Inodzivirira kupfeka, inodziya zvakanyanya munzvimbo dzemakamuri dzakaratidzwa neplasma
Key Material Properties:
● Kuoma Kwakanyanya & Kuramba Kupfeka: Inodzivirira madziro ekamuri kubva mukuputsika kweplasma
● Kugadzikana Kwekupisa Kunoshamisa: Inoshanda zvakavimbika pakupisa kunodarika 600°C
● Kusashanda kwemakemikari: Kusabatwa nemakemikari ane fluorine nechlorine
● Kufambisa kwekupisa: Kunovimbisa kupararira kwekupisa kwakafanana uye kunoderedza kuumbwa kwenzvimbo dzinopisa
Mabasa Anoshanda muMidziyo yeSemiconductor
Ring yeSiC Insert ye0200-21111 inodzivirira kamuri yakagadzirwa nemazvo. Mabasa ayo makuru anosanganisira:
1. Dziviriro yeMadziro eKamuri
● Inodzivirira quartz, Al₂O₃, kana zvikamu zvesimbi kubva pakusangana zvakananga neplasma
● Inoderedza kukurwa kwevhu uye inowedzera hupenyu hwebasa rezvikamu
2. Rutsigiro rweChikamu & Kurongeka
● Inosimbisa machira emukati, marin'i emucheto, uye magadzirirwo eshawa
● Inochengetedza nzvimbo yakabatana uye ine magadzirirwo chaiwo emakamuri
3. Kudzora Zvidimbu & Kugadzikana Kwemaitiro
● Kuoma kwakanyanya uye nzvimbo dzakatsetseka dzeSiC dzinoderedza kugadzirwa kwezvikamu
● Inovandudza kufanana kweplasma kuti igare ichigadziriswa wafer
Common Kukundikana Modes
Kubva pakuona kwemaitiro nekuchengetedza, nzira huru dzekukundikana dzinosanganisira:
● Kuora kwePlasma: Kurasikirwa zvishoma nezvishoma kwezvinhu zvinokonzerwa nekusangana negasi rinoita basa nguva dzose
● Kutsemuka kweThermal Stress: Kutsemuka kudiki kunokonzerwa nekupisa kunokurumidza
● Kuchekwa Kwemucheto & Kusakara Kwemichina: Kukuvara kunokonzerwa nekuiswa kana kubatwa zvisina kunaka
● Kusvibiswa kwezvikamu: Kuora kwenzvimbo kunokonzera kuwedzera kwezvikamu zvidiki
● Kufamba Kwemadhayamita: Kuchinja kudiki mujometri kunokanganisa kuvharwa kana kurongeka kwekamuri
Maonero eUinjiniya hweSemixlab
Ring yeSiC Insert ye0200-21111 yakakosha pahutano hwemukamuri kwenguva refu uye kugona kudzokororwa kwemaitiro acho.
Kunyange zvazvo isiri chikamu chekushanda, kuora kwayo kunogona kukanganisa zvakananga:
● Kufanana kweplasma uye kuenderana kwe etch/deposition
● Kuwanda kwezvikanganiso zvewafer uye goho
● Kugadzikana kwehwindo remashandiro ese ekushandisa
Zvinokurudzirwa Maitiro:
● Ongorora kana paine mitswe midiki uye kusakara kwepamusoro pese paPM cycle
● Dzivisa kusangana kwesimbi neceramic panguva yekuisa
● Tsiva nguva nenguva zvichienderana nekushandiswa uye zviyero zvekuonekwa kweplasma
Nzira iyi inoita kuti michina ishande zvakanaka, mashandiro akarongeka, uye zvikanganiso zvine chekuita nezvikamu zvidiki zvisashande zvakanaka.
Our Services
