Sei Mhete dzeSiC dzeSealing dzichinyanya kushandiswa muSemiconductor Etch Process?

Mukugadzirwa kwema semiconductor emazuva ano, maitiro ekucheka ndechimwe chezvikamu zvakaoma. Kupisa kwakanyanya, magasi akasimba, uye kutenderera nekukurumidza zvinogona kushatisa michina nekukurumidza, kunyanya zvisimbiso zvinochengetedza chamber isina mhepo. Zvisimbiso zvechinyakare zve graphite kana ceramic zvinowanzotadza kubata mamiriro aya, izvo zvinotungamira mukugadzirisa nguva nenguva uye kutadza kushanda. Munguva pfupi yapfuura, mhete dzekuvhara dzakagadzirwa nesilicon carbide (SSiC) Dzakakurumbira nekuti dzakasimba uye hadzina kubatwa nemakemikari. Dzinotsungirira kupisa nengura zviri nani, zvichiita kuti michina ishande kwenguva yakareba uye yakavimbika, ichibatsira zvikuru mafekitori ari kuedza kuchengetedza kugadzirwa kwakawanda.

Zvinodiwa zvekusimbisa mashandiro munzvimbo dzeplasma etch

Mumasystem e plasma etch, sealing rings dzinoita basa rakakosha mukuchengetedza maitiro akagadzikana uye chamber yakachena, uye dzinotarisana nemamwe mamiriro akaomarara mukugadzirwa kwema semiconductor. Mukati me etch tool, plasma ine simba rakawanda, magasi anopindura, uye shanduko dzekupisa nekukurumidza zvinogona kukurumidza kuparadza zvinhu zvisina basa. Kunyangwe kudonha kudiki kunogona kuita kuti magasi e process abude kana kuti tsvina ipinde, zvichikanganisa kufanana kwe etch uye goho re wafer. Kuti ishande zvakanaka, sealing ring inofanira kubata kupisa nekutonhodza kakawanda pasina kutsemuka kana kugadzira mipata, kurwisa kurwisa kwe crispy kwemagasi akawanda e etch, uye kuchengetedza kugadzikana kwe mechanical pasi pekuchinja kwekumanikidzwa uye kumanikidzwa. Zvinhu zvechinyakare zve graphite kana ceramic zvinowanzo tambura kusangana nezvinodiwa izvi zvese, zvichiderera zvishoma nezvishoma nekufamba kwenguva uye zvichisiya zvidimbu zvinogona kusvibisa wafers. Sintered silicon carbide, kana SSiC, yave imwe nzira yakasimba. Hunhu hwayo hwezvinhu hunoibvumira kutsungirira tembiricha dzakakwirira nekuwedzera kushoma, kurwisa kukuvara kwemakemikari, uye kuchengetedza chimiro chayo muma cycles mazhinji. Kuenderana uku kunovimbisa mashandiro anofungidzirwa kubva kubatch kuenda kune batch uye kunoderedza kukanganiswa kwekuchengetedza. Kune mainjiniya anoshandisa maturusi e plasma etch, vachishandisa Mhete dzeSSiC zvinogona kuita mutsauko chaiwo, zvichivandudza kushanda zvakanaka kwekugadzirwa uye mhando yemawafer anogadzirwa, izvo zvakakosha mukugadzirwa kwema semiconductor akawanda.

Hunhu hwemakemikari uye hwemakanika hwesilicon carbide yakapfava

Sintered silicon carbide, kana kuti SSiC, chinhu chakagadzirwa kuti chigone kushanda mumamiriro ezvinhu akaoma e semiconductor etch process zviri nani kupfuura zvinhu zvakawanda zvechinyakare zve sealing. Panyaya yemakemikari, inodzivirira magasi ese anoshandiswa mu plasma etching, kusanganisira magasi anobva ku fluorine ne chlorine, saka inodzivirira ngura nekuputsika kunyangwe mushure memazana kana zviuru zvema cycles. Kusiyana neizvi, standard graphite kana alumina seals inogona kuora zvishoma nezvishoma, zvichisiya zvidimbu zvidiki zvinogona kusvibisa wafers. Kugadzikana kwemakemikari uku kunoita kuti etch process ive yakachena uye igare yakafanana. Panyaya yemakemikari, SSiC yakasimba zvikuru uye yakaoma, ine chimiro chakafanana, chinodzivirira kutsemuka nekukanganisika pasi pekupisa kwakanyanya uye kushushikana kwemakemikari. Mhete dzekuvhara muzvishandiso zve plasma etch dzinodzvinyirirwa kakawanda sezvo chamber inounganidzwa uye inomanikidzwa, uye Mhete dzeSSiC inochengetedza chimiro chayo kuburikidza nematanho aya, ichivimbisa kuvharwa kwakasimba nguva dzese. Kuwedzera kwayo kupisa kushoma kunoderedzawo mipata inogona kukanganisa kusava nemhepo kwekamuri. Pamusoro peizvi, SSiC inodzivirira kupera simba zvakanyanya, inotsungirira kukweshana pamusoro penzvimbo dzinosangana pasina kutsemuka kana kupwanyika, izvo zvinowedzera hupenyu hwerin'i uye zvinoderedza nguva yekushanda kwayo. Kazhinji, musanganiswa wekusagona makemikari, simba remakanika, kugadzikana kwekupisa, uye kugara kwenguva refu kunoita kuti SSiC ive sarudzo yakavimbika kune mainjiniya, zvichibatsira maturusi ekucheka kushanda kwenguva yakareba, akachena, uye anofungidzirwa zviri nani mumamiriro ezvinhu anotyisa.

Kuenzanisa pakati pezvisimbiso zveSSiC, graphite, uye graphite zvakaputirwa

Pakusarudza mhete dzekuvhara maturusi eplasma etch, zvinobatsira kunzwisisa mutsauko uripo pakati pegraphite, coated graphite, uye SSiC, sezvo chinhu chimwe nechimwe chichishanda zvakasiyana mumamiriro akasiyana. Graphite yagara iri sarudzo yechinyakare nekuti iri nyore kuigadzira uye isingadhuri, uye inobata tembiricha dziri pakati nepakati uye kumanikidzwa zvakanaka. Zvisinei, munzvimbo dzine hukasha, graphite inogona kupera nekukurumidza, kuita nemagasi, uye kugadzira zvidimbu, izvo zvinowedzera njodzi yekusvibiswa uye zvinodiwa pakugadzirisa. Kuwedzera kwayo kwakanyanya kwekupisa kunoitawo kuti ive nyore kugadzira mipata panguva yekupisa nekutonhodza. Coated graphite inovandudza izvi nekuwedzera layer yekudzivirira, kazhinji yechinhu chakaoma senge tantalum carbide, iyo inowedzera kuramba kwemakemikari uye inononoka kukurwa. Kunyange zvazvo coated graphite inogara kwenguva yakareba kupfuura plain graphite, coating inogona kupera, uye zvikanganiso mu layer zvinogona kuderedza kushanda, zvichiratidza graphite iri pasi. Sintered silicon carbide, kana SSiC, inopa kushanda kwakasimba kwazvo kune maitiro e etch anoda. Haina makemikari kune akawanda etch gases, ine thermal expansion yakaderera, uye inochengetedza simba remakanika pamatanho mazhinji. Kusiyana negrafiti yakaputirwa, zvinhu zvayo zvinoenderana zvachose, saka hapana njodzi yekuti musimboti usina kusimba uratidzwe. Kugara kwenguva refu uku kunoderedza kukanganiswa kwemaitiro, kugadzirwa kwezvidimbu, uye kugadziriswa, zvichiita kuti SSiC ive sarudzo inosarudzwa yekucheka plasma yakawanda uye ine simba apo nguva yekushandisa uye mhando yewafer zvakakosha, nepo graphite kana graphite yakaputirwa inogona kugamuchirwa mumamiriro ezvinhu asinganyanyi kuoma.

Shandisa mabhokisi mumakamuri akaoma, CVD, uye vacuum process chambers

Mhete dzekuvhara dzeSSiC Zviri kuwanda mumakamuri akasiyana-siyana e semiconductor process nekuti zvinogona kutsungirira mamwe emamiriro ezvinhu akaoma zvikuru muindasitiri. Muzvishandiso zve dry etch, plasma nharaunda ine simba guru, ine magasi anokonzera shanduko akadai seCF₄, SF₆, uye Cl₂ achirwisa zvinhu zvakawanda zvechinyakare. Mhete dzeSSiC dzinodzivisa ngura kubva kumagasi aya uye dzinochengetedza chisimbiso chakasimba kunyangwe nekupisa nekukurumidza uye kutonhora, izvo zvinobatsira kuchengetedza kufanana kwe etch uye kuderedza kusvibiswa chinhu chakakosha kune ma nodes epamusoro apo kunyange zvidimbu zvidiki zvinogona kuparadza wafer. Mumakamuri e chemical vapor deposition (CVD), tembiricha dzinowanzo pfuura 1,000°C, uye zvinokonzeresa corrosive zvinogona kukurumidza kuparadza graphite kana ceramic seals. Kusagadzikana kwemakemikari kweSSiC uye kugadzikana kwekupisa kunobvumira nguva refu yekuisa pasina kukundikana kwechisimbiso, zvichivandudza kushanda kwemidziyo uye kudzikisa mari yekugadzirisa. Makamuri ekugadzira vacuum anobatsirwawo neSSiC, sezvo kuwana vacuum yakakwira zvakanyanya kunoda zvisimbiso zvisingadzime gasi kana kuora pasi pekuchinja kwekumanikidzwa. Kuwedzera kwekupisa kwakaderera kweSSiC uye hunhu hwakasimba hwemakanika zvinobatsira kuchengetedza vacuum yakasimba, iyo yakakosha kune maitiro akadai seatomic layer deposition kana plasma etching uko kuchena kwegasi uye kugadzikana kwekumanikidzwa zvinokanganisa zvakananga kunaka kwewafer. Zvakaitika zvechokwadi zvinoratidza kuti kuchinja kubva pa coated graphite kuenda kuSSiC mumidziyo yakaoma ye300 mm inowedzera hupenyu hwemidziyo, kunoderedza zvikanganiso zvine chekuita nezvidimbu, uye kunoderedza nguva yekushanda. Mumidziyo yeCVD, SSiC inobatsira kuchengetedza kufanana kwe coating kwenguva refu. Kazhinji, SSiC inosanganisa kuramba kwemakemikari, kugara kwenguva refu, uye kugadzikana kwekupisa, zvichiita kuti ive sarudzo yakavimbika kwazvo mumhando dzakasiyana dzemakamuri mukugadzirwa kwema semiconductor emazuva ano.