Maitiro eTaC Coated Rotation Susceptors Anogonesa Kufanana mukugadzirwa kweMOCVD Kwepamusoro

Kune vepamusoro-soro mukugadzirwa kweMOCVD, kuva nefirimu rakatetepa pamawafer ese akafanana mu susceptor yese kwagara kuri dambudziko guru. Chimwe chezvinhu zvidiki i susceptor inotenderera iyo inogona kuve yakakosha kana Tac coating inobatanidzwa. Kuputira kweTaC kunokwanisa kuita kuti susceptor irambe ichidziya uye igadzikane kwenguva refu. Kutaura zvazviri, pamitsetse yekugadzira maLED nemidziyo yemagetsi, musiyano wekupisa chete ndiwo unogona kukanganisa kugona kwemagetsi. Kana wangoshandisa TaC coated rotation susceptors, mainjiniya mazhinji anoona kuti wafer kubva kune wafer kuenda kune wafer, pakati nepakati uye mupendero zvinogona kudzokororwa. Uku kuchinja kuri nyore kwehardware asi kukanganisa kugadzirwa kwese kunogona kukonzera mhedzisiro inofungidzirwa yekushanda kwako kwezuva nezuva.

Kukosha kweWafer Rotation muEpitaxial Ukobvu uye Kudzora Kuumbwa

MuMOCVD, mawafers anobatwa uye anodziiswa panguva imwe chete neanopfuudzwa negasi. Magasi aya anoshandiswa kutakura zvinhu kuti zviise pamusoro pewafer. Chimwe chezvinetso zvine chekuita neizvi ndechekuti haugone kugara uchifungidzira kuti kuyerera uye tembiricha zvakafanana mukamuri. Kana wafer isiri kufamba, imwe wafer ichawana huwandu hwakawanda hwezvinhu/kupisa zvichienzaniswa nezvimwe, zvichikonzera ukobvu husina kufanana kana kuchinja hunhu hwezvinhu. Izvi zvinogona kuva nemigumisiro mikuru pamidziyo yakaita semaLED kana magetsi emagetsi. Apa ndipo panotanga kutenderera. Sezvo wafer iri kurimwa, inotenderera saka chero nguva, zvikamu zvakasiyana zvewafer zvinochengetwa munzvimbo dzakasiyana dzemhepo inoyerera/nzvimbo yekupisa. Kuchinja kudiki munzvimbo dzakasiyana dzekamuri kuchapedzisira kwaenzana nekuda kwekutenderera. Kungofanana nekubatidza nyama pabarbecue, chikafu chichawana kupisa kwakawanda mune dzimwe nzvimbo kupfuura dzimwe zvichikonzera chikamu chakatsva uye chikamu chisina kubikwa zvakakwana. Mumamiriro chaiwo ekugadzira, mwero wekutenderera unogona zvakare kusiyana zvichienderana nezvinhu zvinorimwa. Semuenzaniso, ma layer eGallium Nitride anoshandiswa kukura ma LED, kuchinja kuri nyore muukobvu kunogona kuchinja ruvara rwechip, izvi zvinogona kuderedzwa nekuchinja kutenderera kuti zvikwanise kugadzira layer yeukobvu hwakafanana pamusoro pe wafer, zvichikonzera kupenya kwakafanana/ruvara rwe wafer-to-wafer. Chimwe chinoshandiswa pakutenderera ndechekuenderana kwezvikamu zvezvinhu panguva yekuisa. Compound semiconductors dzinofanira kunge dzakafanana pamusoro pe wafer; hunhu hwezvinhu huchachinja kana huwandu hwakawanda hwechikamu chimwe chete hukabvumirwa kuungana muchikamu chimwe che wafer. Maitiro ekutenderera anogona kudzivirira izvi kuti zvisaitike nekufambisa wafer, mhedzisiro yacho inenge yadzikira kusvika yapera. Vashandisi veMOCVD process vanokurudzirwa zvikuru kuti vaongorore uye/kana kugadzirisa marongero avo ekutenderera. Tanga kushandisa kukosha kwakakurudzirwa nemugadziri wemidziyo uye shandura zvishoma nezvishoma uchitarisa mamepu eukobvu uye mhando yezvinhu. Kuchinja kutenderera kunogona kupa mabhenefiti maererano nekufanana uye kudzikira kwehuwandu hwewafer dzakaraswa.

Zvinodiwa zveMichina neThermal paRotation Susceptors

Basa remuchina wekutenderedza wafer rakaoma muMOCVD reactor. Unofanira kuchengetedza nzvimbo yakadzikama yewafer, kuitenderedza nekumhanya kwakadzorwa uye kuramba wakasimba pasi pekupisa kwakanyanya. Muchina uyu unoshanda pakati pemabasa mazhinji anogona kuitwa pakupisa kuri pamusoro pe1000°C. Panguva iyi uri kutambura nekuyerera kwemhepo yakawanda uye kuchinja kwekupisa kakawanda. Izvi zvinosimbisa zvinhu zviri mumashini uye pakupisa. Kuenzana kwemuchina chinhu chakakosha. Kunyangwe kana muchina uyu usina kuenzana, kudedera kunogona kugadzirwa nekusawirirana kudiki kana muchina uyu uchitenderera. Kudedera uku kunogona kukonzera kuiswa kwewafer isina kuenzana nekufamba kwenguva kana kutokonzera kukuvara kwemidziyo. Saka muchina uyu unogadzirwa nemachina nemazvo uye unoedzwa usati washandiswa. Mumitsetse chaiyo yekugadzira, mainjiniya vanogona kugara vachitarisa kusakara, kupoterera kana pamwe mitswe midiki inogona kukura panguva yekushanda. Imwe nyaya ndeyekupisa. Muchina uyu unopisa nekukurumidza uye unoda kuparadzira kupisa zvakaenzana pamusoro pewafer. Kana imwe nzvimbo ikanyanya kupisa kupfuura imwe, inogona kukanganisa kukura kwezvikamu. Panguva iyi, chinhu chacho chinokura kana chadziiswa uye chinopera kana chatonhora. Nekudzokorora kwakawanda, kuwedzera uku kunodzokororwa kunogona kukonzera kuneta. Izvi zvinogona kukonzera kuti chinhu chinonyungudutsa chirasikirwe nechimiro kana kuti chive nezvikanganiso pamusoro kana chikasagona kumirisana nacho. Ndipo panogadzirwa zvinhu zvakaita se CVD TaC Zvinoshanda. Kuputira kweTaC kunogona kutsungirira kupisa kwakanyanya uye kunogona kudzivirira zvinhu zvepasi kubva mukurwiswa nemakemikari kubva kumagasi anokonzera kushushikana. Zvakare kunoita kuti kupisa kupararire pamusoro pechinhu ichi kuenzane izvo zvinobatsira kukura zvakaenzana. Izvi zvinoreva kuti munhu anogara kwenguva refu uye kugadzikana kwekushanda kwemuchina uyu. Kune vanoishandisa, zvakakosha kutarisa kufanana kwekupisa uye mamiriro emuviri. Kudzivirira kuchinja kwekupisa kamwe kamwe, kuchenesa kwakakodzera uye kuongororwa nguva dzose kunogona kubatsira kuwedzera hupenyu hwechinhu chinosunga. Kuita zviito zvidiki zvakaita seizvi kunogona kubatsira kudzivirira matambudziko makuru uye kubatsira kuti maitiro acho arambe ari munzira.

Kushanda kweTaC Coating pasi peThermal Cycling uye Dynamic Stress

Chinonyungudutsa hachigari zvakanaka panguva yekushanda kweMOCVD kwakajairika. Chinotenderera, chinotonhodza uye chinopisa panguva imwe chete. Uku kusanganiswa kwekupisa uye kushushikana kwakasimba, izvo zvinogona kuparadza zvinhu zvakawanda. Kumhanya kwakawanda kunoitwa, kutenderera kwakawanda kunowedzerwa, uye shanduko diki dzinogona kuva matambudziko makuru mukati memavhiki kana mwedzi kana chifukidziro chisina kusimba zvakakwana. Iyi inzvimbo umo TaC yakavhara graphite hita Vanogona kurarama nazvo. Vanozivikanwa nekukwanisa kwavo kutsungirira kupisa nekutonhodza kakawanda. TaC layer haiparare kana zvinhu zvichikura, asi inenge isina kukanganiswa. Izvi zvinobatsira kuchengetedza pamusoro pe susceptor yakatsetseka uye yakaenzana, izvo zvakakosha kuti pave nekubatana kwakasimba uye kutamiswa kwekupisa pakati pe susceptor ne wafer. Zvakare, kune kuwedzera kwekumanikidzwa. Apo susceptor iri kutenderera, ichaiswa pasi pesimba re centrifugal izvo zvinogona kuwedzera zvishoma nezvishoma kusagadzikana kwenzvimbo kana kusarongeka uye coating yacho inopera nekufamba kwenguva nekuda kwekufamba kunobatsira mukugadzira TaC coating yakasimba, iyo ichanamatirwa zvakasimba kune zvinhu zvepasi uye isingakwanise kupatsanurwa muma cycles akawanda, saka mukugadzirwa, pane kukanganiswa kushoma kuchakonzereswa nekudzokororwa/kuchinja zvikamu.

Mupiro kuKugadzirwa kweMawafers Akakura uye Akawanda

Kuenderana kwakaoma zvikuru kana MOCVD yawedzerwa kubva kumawafer madiki kuenda kumawafer ekugadzira. Sezvo mawafer achiwedzera, kana mawafer akawanda mukamuri imwe chete, shanduko dzakawanda dzinoitika mukamuri yese. Kuyerera kwegasi uye kugoverwa kwekupisa uye mhedzisiro yemupendero zvese zvinowedzera mukurumbira. Musiyano mudiki unogona kuwedzera kana munhu achigadzira mazana kana zviuru zvemawafer pazuva. Ndipo panoshanda maTaC coated rotation susceptors kubatsira kuchengetedza kugadzikana. Pakugadzirisa nzvimbo yakakura, kupisa kunofanirwa kugoverwa zvakaenzana pamusoro penzvimbo yakakura. Izvi zvinogona kutsigirwa neTaC coating yakanaka, iyo ichawedzera kuenzana kwekupisa kwemupendero. Kana tembiricha iri nguva dzose muwafer yese, wafer layers dzakagadzirwa zvakaenzana. Izvi zvinobatsira kuderedza matambudziko akadai sekusiyana kweukobvu kana kusiyana kwechimiro mukati mewafer. Basa racho rakakura mumasystem e multi-wafer. Nzvimbo yewafer yega yega mukati me reactor haina kufanana. Kana mawafer ekunze asina kudzorwa zvakanaka, anogona kukura zvakasiyana nemawafer emukati. Nepo kutenderera kuchibatsira kuderedza musiyano uyu, ichiri mhedzisiro yepamusoro. Nzvimbo yakaputirwa neTaC inoita kuti pave nemhinduro yakafanana yekupisa panzvimbo dzese dzewafer, izvo zvinoita kuti pave nemamiriro akafanana ekukura kwewafer yega yega. Musiyano uyu dzimwe nguva unoonekwa nemainjiniya munzvimbo chaiyo yekugadzira kana uchikwira. Izvi zvinogona kushanda pane wafer imwe chete, asi zvinotanga kuchinja kana zvikawedzerwa zvakanyanya. Kana wafer yakaputirwa yachinjwa kuita dhizaini yakagadzikana, musiyano wacho unogona kudzikira uye goho rinowedzera. Muindasitiri ye LED nemidziyo yemagetsi, kutsauka kudiki kunogona kukanganisa mashandiro uye/kana hupenyu hwese. Chimwe chinoshanda ndechekudzokororwa kwemaitiro. Kana wafer ikaita zvakafanana kubva kumhanya kusvika kumhanya, zviri nyore kugadzirisa mabikirwo uye kuwana goho rinowirirana. Izvi zvinodzivirira vashandisi kubva pakurasikirwa nenguva pakugadzirisa kuti vasatsvedze uye zvinowedzera kugadzikana kwekugadzira. Nekufamba kwenguva, izvi zvinobvumira mafekitori kuchengetedza sisitimu yavo iri mumhando yepamusoro pasina kugara vachiita shanduko.

Maitiro Ekushandisa Anosimudzira Kudiwa Kwemagadzirirwo ETaC Akaputirwa Nejira Rekutenderera

Maitiro ekuvandudza goho uye kudzora kwakasimba kuri kuramba kuchiwedzera mumafekitori e semiconductor. Hunhu hwe wafer hwakakosha pakushanda kwemidziyo yeEV, 5G uye magetsi emagetsi, uye shanduko diki muukobvu hwefirimu dzinogona kukanganisa. Tichifunga izvi, vagadziri vemidziyo vari kuwedzera kutarisa kwavo pazvinhu zviri mukati meMOCVD reactor zvinobatsira pakukura kwakasimba. Coated rotation susceptors yekupisa nemakemikari yakagadzikana munguva refu yekugadzira inotariswa zvakanyanya nekuda kwekushandiswa kweTaC. Nzira ikozvino inoita kunge iri kune ma wafer makuru uye kubuda kwakakwira pakufamba. Sezvo mafekitori achichinja kubva kuma wafer madiki kuenda kuma wafer e200mm uye kunyange 300mm, kudzora tembiricha pamusoro penzvimbo yese kuri kuramba kuchioma. Coated susceptor inokwanisa kuparadzira kupisa zvakaenzana yave kutonyanya kukosha. Magadzirirwo akafukidzwa ariwo kuwanda kune mitsetse yekugadzira yakawanda nekuda kweizvi. Chimwe chikonzero ndechekuti sezvo SiC neGaN Devices dzichipinda munzvimbo iyi. Pakadaro, tembiricha shoma kwazvo inodiwa kuti Epitaxial ikure. Shanduko diki pamamiriro ezvinhu iwayo dzichakonzera zvikanganiso padanho iroro. Parizvino vagadziri vazhinji vakashandisa susceptor coating yakagadziriswa kuti vagadzirise mamiriro avo ezvinhu zviri nani kwenguva yakareba. Sezvakaratidzwa neongororo yeindasitiri, kukura kwayo kwakabatana zvakanyanya nekukura kweindasitiri ye semiconductor. Zvakare pane tsika yekurarama kwenguva refu kwemidziyo uye kuderedzwa kwenguva yekushanda. Mafekitori anoda maturusi anogona kushanda kwenguva yakareba pasina shanduko yenguva dzose. Tekinoroji itsva ye coating yakashandiswa kuitira kuti susceptors dzirambe nguva yakawanda nemaitiro ekusakara uye kubvaruka kuitira kuti maitiro akatsetseka ave nechokwadi. Izvi zvinorevawo nguva shoma yekuchenesa nekuchinja chikamu munzvimbo chaiyo yefekitori izvo zvinoita kuti mafekitori arambe achigadzira. Uye kune shanduko yekuda kubva kune otomatiki uye kutarisa maitiro zvakare. Tembiricha nekusakara zvinogona kutariswa munguva chaiyo mune yazvino. Coating ye susceptor inogara ichienderera mberi ichavimbisa kuti resipi yakagadzikana pasina kugadziriswa nemaoko, inoenderana nemaitiro emagetsi ekugadzira. Musiyano unowanzoonekwa nemainjiniya pakukura. Maitiro anogona kugadzikana muboka diki anogona kunge asina kugadzikana kana akasvika pakukura kwehukuru hwekugadzira hwakazara. Daro iroro rinogona kuderedzwa nekugadzirwa kwakagadziriswa kweTaC coated rotation uye izvo zvinopa kukura kwakapfava.