Solid SiC vs. Graphite: Ndeipi Nyaya Yakanakira RTP Applications

Mukukurumidza thermal processing (RTP), zvinhu zvekamuri zvine basa chaizvo. Vanogona kubatsira kuti nzira yacho ishande zvakanaka kana kukonzera matambudziko nehutano. Zviviri zvezvinonyanya kusarudzwa ndezve yakasimba silicon carbide (SiC) uye graphite. Zvese zviri zviviri zvinobata kupisa kwakanyanya, asi zvinozvibata zvakasiyana mukushandiswa kwepasirese. Kusarudza yakakodzera kunoenderana nezvinhu zvishoma. Zvinoenderana nekuti nzvimbo yacho inofanirwa kuve yakachena sei, kuti zvikamu zvacho zvinofanirwa kugara kwenguva yakareba sei, uye kuti kunyange kupisa kunofanirwa kuve kwakadii. Muchikamu chino, tichafananidza yakasimba SiC uye graphite parutivi. Izvi zvichakubatsira kuona kuti ndeipi iri nani kune yako RTP setup.

Kunzwisisa Zvinodiwa Zvezvinhu muRapid Thermal Processing (RTP)

Rapid Thermal Processing (RTP) ndeye nezve kumhanya uye nemazvo. Inopisa semiconductor wafers kusvika kune tembiricha yakanyanya-dzimwe nguva inodarika 1,000°C-mumasekonzi mashoma. Kubata? Iyo nzira inofanirwa kuve yakachena, inodzokororwa, uye yakadzorwa zvakasimba. Izvo zvinoisa kushushikana kwakanyanya pazvinhu zviri mukati mekamuri. Iyo inonyanya kubata zvitsigiro zvewaferi, zvinobatisa, uye machira emakamuri.

Solid SiC uye graphite yakajairika muRTP setups. Vanogona kutora kupisa kwakanyanya pasina kunyunguduka kana kukotama. Asi kuramba kupisa handicho chete chinhu chakakosha. Zvishandiso zvinodawo kuve neyakanaka thermal conductivity kuparadzira kupisa zvakaenzana. Kana kupisa kusati kwapfuura nepawafer, zvikamu zvemudziyo zvinogona kukanganisa kana kumira kushanda mumatanho anotevera. Kupisa kusina kuenzana kunotungamirira kumarema anodhura.

Kusvibiswa ndeimwe kunetseka kukuru. Chero chidiki chidiki chinoputika panguva yekugadziriswa chinogona kumhara pane wafer uye kuchiparadza. Apa ndipo panotanga graphite kuratidza miganhu yayo. Graphite yakanaka nekupisa, asi inoputsika zvishoma nezvishoma mumhepo kana nzvimbo dzakachena kwazvo. Izvo zvinogona kuunza zvisingadiwi zvimedu. Solid SiC, asi yakanyanya kugadzikana kemikari uye zvishoma mukana wekuteura zvinosvibisa.

Panewo nyaya yekusimba. Graphite yakareruka uye iri nyore kugadzira muchina, saka kazhinji yakachipa kumberi. Asi inopera nekukurumidza, kunyanya nekudzokororwa tembiricha bhasikoro. Solid SiC yakasimba uye inogara kwenguva refu, saka haufanire kuitsiva kazhinji kana kumisa basa zvakanyanya.

Muchidimbu, kutora pakati peSiC yakasimba uye graphite hakusi kwekupisa chete. Zviri pamusoro pekuti imwe neimwe inoshanda sei panguva yekushandiswa chaiko. Kana iwe uchimhanyisa RTP mutsara, funga nezve kupisa, kuchena, kuti inotora nguva yakareba sei, uye mutengo wakazara.

Solid SiC: Yekutanga Kuita Kwepamusoro-Kuchena RTP Mamiriro

Solid silicon carbide (SiC) inowanzoshandiswa muRTP yepamusoro-soro nokuti inogara yakachena uye yakasimba. Inogona kubata kupisa kwakanyanya pasina kutyora kana kuita guruva. Izvo zvakare hazvibatike nemakemikari mazhinji, ayo anobatsira kuchengetedza kamuri yakachena uye inodzivirira mawafer.

Mukugadzirwa kwenyika chaiyo, kuvimbika uku kunokosha. Semuenzaniso, machira ekugadzira machipisi epamberi kana zvikamu zvemagetsi zvinowanzo shandisa zvikamu zvakasimba zveSiC. Vanoda yakawedzera kuchena kugadzirisa, saka SiC yakanaka kukwana. Nyangwe kadiki kezvinhu zvekunze zvinogona kukonzera kusashanda zvakanaka kwemudziyo kana kuderedza goho. Solid SiC inogona kubata kupisa pamusoro pe1000 ° C pasina oxidizing. Ndosaka ichishanda zvakanaka muRTP ine oxygen kana muvacuum setups.

Chimwe chinowedzera ndechekupisa kwekushisa. Solid SiC inoparadzira kupisa zvakanaka, izvo zvinobatsira kuchengetedza wafer zvakaenzana kupisa. Izvi zvinodzivirira nzvimbo dzinopisa uye zvinoita kuti maitiro acho awedzere-akakosha kune zvikamu zvidiki uye matanho akasimba. Mimwe michina inotoshandisa zvikamu zveSiC kupisa nekukurumidza uye kuchengetedza nguva.

Durability ndiyo imwe nzvimbo inopenya SiC yakasimba. Iyo yakaoma uye yakaoma, izvo zvinoita kuti irege kupfekedzwa uye kuvhunduka kwekushisa. Kusiyana negraphite yakavharwa, SiC yakasimba haiputsi kana kupepeta nekufamba kwenguva. Iyo inogara kuburikidza neakawanda kutenderera, saka iwe unoshandura zvikamu zvishoma, misa chishandiso zvishoma, uye shandisa zvishoma pane zvigadziriso.

Muchidimbu, SiC yakasimba inodhura zvakanyanya pakutanga, asi yakakosha kumabasa eRTP anoda zvikamu zvakachena, hupenyu hurefu, uye kupisa kwakadzikama.

Graphite: Imwe nzira yakasiyana-siyana uye inodhura-inoshanda

Graphite inoshanda zvakanaka kuRTP kana bhajeti iri diki kana maitiro ari nyore. Inogona kutora kupisa uye iri nyore kucheka kuita chimiro. Iyo haina kutsemuka kana ichipisa kana kutonhora pasi nekukurumidza, saka inoshandiswa kune zvikamu zvakaita sewafer holder uye heaters mumabasa ekutanga.

Imwe yezvakanakira graphite mutengo. Graphite inodhura zvishoma pane yakasimba SiC uye iri nyore kugadzira. Izvi zvinoita kuti ive sarudzo yakanaka yekuyedza mitsara, R&D, kana setups inochinja kazhinji. Unogona kucheka kuita maumbirwo matsva nekukurumidza, saka zvinobatsira kuti basa rirambe richienda kana shanduko dzichidikanwa.

Graphite inewo yakasimba thermal performance. Graphite inoparadzira kupisa zvakanaka. Inobatsira kupisa wafer zvakaenzana. Inobatawo kudziyisa nekutonhodza kakawanda pasina kutyora. Asi hazvina kukwana. Munzvimbo dzine okisijeni yakawanda kana kuti dzinoda kugara dzakachena, magirafu anogona kuparara zvishoma nezvishoma. Uye kana izvozvo zvikaitika, zvinogona kuita guruva duku. Guruva iri rinogona kusvibisa zvimedu. Iro idambudziko hombe kana iwe uri kugadzira epamberi machipisi kana zvikamu zvinonzwisa tsitsi.

Kuita kuti graphite igare kwenguva refu uye kumisa guruva, inowanzoputirwa nesilicon carbide. Iyo yekupfeka inobatsira kuidzivirira asi inogona kupera nekufamba kwenguva. Saka, inoda kuongororwa uye kuchinjwa kazhinji. Dzimwe nguva, kupfeka kunogona kubvarura, izvo zvinogona kuipa kupfuura kushandisa plain graphite.

Muchidimbu, graphite inopa kuenzanisa kunoshanda pakati pekuita uye mutengo. Haina kuchena kana kusimba seSiC yakasimba, asi kumabasa mazhinji eRTP — kunyanya ekutanga kana ari nyore — inoshanda nemazvo uye inodhura zvishoma.

Maitiro Ekusarudza: Mashandisiro-Chaicho Kurudziro kubva kuSemixlab

Kusarudza yakasimba SiC kana graphite haingori yekuti ndeipi inonzwika zvirinani. Zviri pamusoro pezvinoda basa rako. PaSemixlab, takashanda nemapoka madiki kutanga uye mafekitori makuru achigadzira machipisi epamusoro. Zvatakadzidza ndezvekuti sarudzo yezvekushandisa inofanirwa kugara yakasungirirwa kune izvo zvinodiwa zvemaitiro ako.

Kana iwe uri munzvimbo dzakachena kana dzakapfuma-okisijeni setups, kana kugadzira madiki chip zvikamu, yakasimba SiC ndiyo iri nani kusarudza. Inodhura zvakanyanya pakutanga asi inotora nguva yakareba uye inopa mhedzisiro iri nani, kuchengetedza mari nekufamba kwenguva.

Graphite yakanaka kune nyore RTP nhanho kana iwe uchiri kugadzirisa maitiro. Yakachipa uye inokurumidza kuumba. Mumwe mutengi akashandisa yakavharwa graphite mune diki setup kuchengetedza mari panguva yekuyedzwa. Zvakaita kuti varambe vachichinjika vasingabaire zvakanyanya pakuita.

Mune zvimwe zviitiko, nzira yakasanganiswa inoita pfungwa huru. Unogona kushandisa SiC yakasimba kune zvinopisa, zvakanyanya kukosha zvikamu. Zvadaro, shandisa graphite kune zvikamu izvo kuchena kwakanyanya kusina kukosha. Chinokosha ndechokumepu sarudzo dzako dzezvinhu kune zvaunoda kuita, kwete bhajeti yako chete.