Maitiro eCVD Coatings Inoderedza Kusvibiswa muSemiconductor Etching Matanho

Mukugadzira semiconductor, kunyangwe diki diki rekusvibiswa rinogona kukonzera matambudziko makuru. Izvi ndezvechokwadi chaizvo panguva etching danho. Panguva ino, tudiki diki kana kuita kwakashata kunogona kukuvadza mudziyo. Vanogonawo kuderedza kuti zvingani zvigadzirwa zvakanaka zvinobuda. Imwe nzira yekuderedza nyaya idzi ndeyekushandisaCVD (makemikari vapor deposition) machira. Aya machira anodzivirira zvikamu mukamuri yekushongedza. Vanobatsira kuchengetedza zvinhu zvakachena, kudzivirira kusakara, uye kuderedza kuremara.

Dambudziko rekusvibiswa muPlasma Etching Chambers

Plasma etching inhanho yakakosha mukugadzira machipisi, asi inouya nedambudziko rakakura: kusvibiswa. Etching inoshandisa magasi uye plasma kubvisa zvinhu nemazvo. Asi mamiriro ezvinhu akaoma aya anogonawo kukanganisa nhengo dzekamuri. Sezvo zvikamu zvinopera, twudikidiki kana maflakes anogona kubvarura uye kumhara pamusoro pewafer pamusoro. Kana izvozvo zvangoitika, hurema hunoumba-uye izvi kazhinji hazvigoneke kugadzirisa gare gare.

Chinhu chinowanzokonzera kusvibiswa madziro ekamuri kana zvikamu zvinobata plasma zvakananga. Nokufamba kwenguva, plasma inobata neaya maficha, zvishoma nezvishoma ichiadya. Izvi zvinogona kuita kuti zvimedu zviwire mukamuri kana kugadzira makemikari asingadiwi. Kunyange zvikamu zvinotaridzika zvakanaka zvinogona kushata pasi pemaikorosikopu, zvichiita kuti zvimedu zvimire kana kuungana.

Imwe nyaya ndeyekuyambuka-kusvibiswa pakati pe process runs. Semuenzaniso, zvinhu zvakasara kubva kune imwe wafer zvinogona kusvika pane inotevera kana kamuri isina kucheneswa kana kuvharwa zvakanaka. Iri rinova dambudziko rakakura sezvo chip maficha anoderera muhukuru. Icho chaimbove chidiki chirema chinogona kuvhara kana kupfupisa nzira yakakosha mumanodhi epamberi.

Mafekitari mazhinji anoedza kugadzirisa izvi nekuchenesa kamuri kazhinji kana kushandura zvikamu. Asi izvi zvinoda nguva nemari. Haigadzirisewo dambudziko guru—kukuvadzwa kweplasma. Ndokusaka vachishandisa machira ekudzivirira. Aya machira anobatsira kumisa kukanganisa kusati kwatanga nekuvhara zvikamu zvinonyanya kurova.

CVD Coatings seChivharo Chekudzivirira: SiC uye TaC muKuita

Kumisa kusvibiswa kusati kwatanga, vazhinji vanogadzira chip vanotendeukira kuneCVD coatings. Nhete dzakatetepa dzinowedzerwa kune zvikamu zvekamuri kuti dzidzivirire kubva mukukuvadzwa nemakemikari. Zviviri zvezvinhu zvakavimbika zvebasa iri ndezvesilicon carbide (SiC)uyetantalum carbide (TaC). Ivo havana kungooma - ivo zvakare vakagadzikana munzvimbo dzine hukasha dzeplasma.

SiC inoshandiswa nekuti inobata kupisa zvakanaka uye inoramba kuita nemagasi. CVD-yakavharwa SiC pazvikamu inoita nzvimbo yakasimba isingapfeki nyore. Kunyangwe mushure mekutenderera kwakawanda, inogara yakatsetseka uye yakachena, saka zvidimbu zvishoma zvinowira pawafers.

TaC inoshandiswa kana iyo etching process yakatonyanya kuomarara. Inoshanda zvakanaka nemaplasma akasimba uye gasi rakaoma rehalogen. Chimiro chayo chakakora uye nzvimbo yakakwira yekunyungudika inoita kuti isanyanya kusimba mukuora. Mune mamwe maturusi epamusoro,TaC coatingskubatsira kuderedza kusvibiswa kwesimbi. Izvi zvakakosha pakugadzira nekukurumidza logic uye memory chips.

Aya mabhanhire anoshanda nekuita chipingamupinyi pakati peplasma nechikamu. Izvi zvinobatsira kuti chikamu chigare kwenguva refu uye chinoita kuti kamuri yakatsiga. Iyo zvakare inoita kuti mainjiniya amhanye kwenguva yakareba pasina kumira kuchenesa kana kushandura zvikamu.

Funga nezvazvo sekuisa chidziviriro pafoni yako. Izvo hazvichinje mashandiro anoita foni, asi zvinotora kurova kuti skrini yako isaite. Mufananidzo:

Yakavandudzwa Etching Performance uye Yakaderedzwa Maintenance Mari

CVD coatingsseSiC neTaC kuchengetedza zvikamu zvakachengeteka, kubatsira etching kuenda zvakanaka, uye zvinoreva kushoma kugadzirisa kunodiwa. Kana zvikamu zvekamuri zvikaramba zviri muchimiro chakanaka, etching inowedzera kuenderana. Izvi zvinoreva kuti mawafer akawanda anopfuura emhando yepamusoro, uye mashoma anokandwa kure nekuda kwekuremara.

Mamiriro ekamuri akatsiga ndiwo akakosha kune zvinodzokororwa mhinduro. Pasina machira, zvikamu zvekamuri zvishoma nezvishoma zvinopera. Izvi zvinogona kushandura gasi kuyerera, kupisa kupararira, uye plasma maitiro. Shanduko idzi dzinogona kuve diki pakutanga asi dzinogona kutungamirira kumigumisiro yakasiyana nekufamba kwenguva. Zvikamu zvakavharwa zvinobatsira kudzivirira izvi nekuchengetedza kamuri inofanotaura kubva pane imwe wafer kuenda kune inotevera.

Pamusoro peizvozvo, CVD-yakavharwa zvikamu zvinogara kwenguva yakareba zvisati zvada kutsiviwa. Zvishandiso zvisina kuvharwa zvinoda kumwe kumira pakuchenesa, zvichikonzera kunonoka. Zvikamu zvakavharidzirwa zvinogara kwenguva refu, kuderedza nguva uye basa rakawedzerwa.

Vatambi vechokwadi vepasi rose vakaona izvi zvinobhadhara. Semuyenzaniso, mumwe mugadziri wechip akashandisa mhete dzakavharwa neSiC pachinzvimbo chealuminium plain uye akawana 40% yakareba nguva yekumhanya. Iyi nguva yekucheka uye yakachengetedza goho rewafer rakagadzikana.

Inyaya yakajeka ye "kushandisa zvishoma kumberi, chengetedza yakawanda nekufamba kwenguva." CVD machira anochengeta zvikamu zvakachengeteka uye zvakachena, saka mainjiniya anogona kutarisa pabasa, kwete kugadzirisa zvinhu.

Ongorora Semixlab's Coating Capabilities yeEtch System Yako

Kana iwe uchida kuwana zvakawanda kubva kune yako etch system, zvinobatsira kushanda nemunhu anoziva zvinhu uye maitiro. Semixlab inogadzira machira eCVD seSiC neTaC, akagadzirirwa etching maturusi uye akaedzwa mumafekitori chaiwo.

Chii chinoita kuti Semixlab isiyane ibasa ravo retsika. Vanogona kupfeka akawanda maumbirwo uye zvikamu, senge aluminium mhete kana magirafu anotakura. Iwo machira akatsetseka, akasimba, uye akagadzirwa kuti aenderane nezvido zvako. Basa rese rekupotera rinoitwa mumakamuri akachena, anodzorwa, saka hapana tsvina nyowani kana zvimedu zvinopinda.

Micheka mizhinji inotumira zvidimbu zvakashandiswa kuti zvishongedze pane kuzvitsiva zvachose. Iyi nzira haingochengetedze mari chete asiwo inobatsira kuderedza tsvina. Semixlab inotarisa chikamu chimwe nechimwe kuti ive nechokwadi chekuti chakasimba. Kana ikapfuura, vanoichenesa, voipfeka, uye voidzorera—yagadzirira kushandiswa zvakare. Izvi zvinobatsira kuti zvikamu zvigare kwenguva refu pasina kurasikirwa nekuita.

Mainjiniya anoshanda neSemixlab anowana zvinopfuura zvekupfeka chete. Hauna chokwadi kuti chii chinokodzera magasi ako? Unoda kuziva kuti inotora nguva yakareba sei neplasma yako? Chikwata chavo chinogona kuzviyedza kana kutarisa data kuti ikubatsire kusarudza.

Kana iwe uchida kuyedza zvikamu zvakavharwa, tarisa kuti inguvai uye wafers waunorasa izvozvi. Coatings inogona kukubatsira kuchengetedza ese ari maviri.