Chii Chinotsanangura SiC Coated Epi Susceptor muMainstream Epitaxial Manufacturing

Epi susceptor yakafukidzwa neSiC ndiyo inonyanya kukosha pazvishandiso zvakawanda zve epitaxial growth, asi ine simba guru pamhedzisiro yema semiconductor wafers emazuva ano. Inoshandiswa mumitsetse yakajairika yekugadzira kuchengetedza nekutsigira ma wafers panguva yekupisa kusvika pakupisa kwakanyanya uye kusangana nemagasi anokonzera reactive. Silicon carbide coating inobatsira kuchengetedza pamusoro payo pakagadzikana, pakachena uye pakudzivirira mamiriro emakemikari akaoma. Kana zvisina kudaro, mhando yewafer inogona kukurumidza kutsvedza uye kukonzera zvidimbu zvisina kufanana kana zvidimbu zvisingadiwe. Kune mainjiniya, ipuratifomu yakagadzikana inobvumira vashandisi kuchengetedza maitiro acho sezvinobvira, kunyanya pavanenge vachigadzira zvishandiso zvinoshanda zvakanyanya nezvinhu zvakaita seGaN kana Sic wafer .

Zvinodiwa zveThermal uye Mechanical muEpitaxial Growth Process

Kukura kweEpitaxial kunoda kuti susceptor igone kubata kupisa nekumanikidzwa panguva yekubata mawafer. Rutivi rwekupisa ndirwo rwakaoma zvikuru. Zviri nyore kusvika pamuganhu wepamusoro wekupisa we1000°C mukati me reactor, uye pakupisa uku kunyange musiyano mudiki wekupisa mukupararira kwekupisa unokanganisa kukura kwefirimu rakatetepa pawafer. Sic yakavharwa graphite susceptor Inoparadzira kupisa zvakaenzana pamusoro kuti isapise nzvimbo dzinopisa uye nzvimbo dzinotonhora dzemawafers ari pa susceptor. Matanda akakura anoramba akafanana kana tembiricha yakaenzana - chimwe chinhu chinodiwa nevagadziri vemidziyo pavanenge vachigadzira ma LED nema power chips. Fungidzira uine ovheni, uye tireyi imwe yemabhisikiti inoiswa muovheni imwe tireyi ichisiyiwa. Kana chikafu chikapiswa zvisina kuenzana, rumwe rutivi runobikwa pamberi perumwe rutivi. Pfungwa imwechete inoshandiswa pano, asi pachinzvimbo chechikafu, iwafer yakatetepa yemaatomu. Kubva pamaonero emakanika, susceptor inofanira kunge yakagadzikana mushure mekudziya nekutonhodza kakawanda. Kutenderera uku kunokonzera kushushikana nekuda kwekuwedzera kwakasiyana uye kupfupika kwezvinhu. SiC coating inogona kuderedza kupera kwegraphite base iri pazasi. Inewo hunhu hwekudzivirira kutsemuka uye kurwisa-kukuvadzwa kwepamusoro painorodha nekuburitsa mawafers kakawanda. Mumitsetse chaiyo yekugadzira, mainjiniya angafanira kuita maitiro marefu, akareba maawa akawanda. Munguva ino, susceptor haibvumirwi kukotama kana kurasikirwa nezvidimbu. Zvidimbu zvidiki kwazvo zvinogona kuwira pamawafers uye kukonzera kuti batch iparare. Ndosaka kuomarara kwenzvimbo uye kugadzikana kwechimiro zvakakosha pamwe nekubata kupisa. Zvakare, dambudziko rekuyerera kwegasi mukati mekamuri. Magasi anoyerera pamusoro pemawafers, zvichienderana nechimiro che susceptor uye mamiriro epamusoro. Pamusoro payo panogona kurasikirwa nekupfava uye kutsetseka kwayo nekukura, zvichiita kuti kuyerera kwegasi kuchinje, uye kukura kusingaenderane. Kazhinji, mapoka anoongorora kupfekwa uye kuchinja pamusoro pechinhu uye kana paine kushushikana mushure menguva dzakawanda dzinodzokororwa mukushandiswa kwezuva nezuva. Izvi zvinodzora zvinoita kuti maitiro acho ave akasimba uye zvinoderedza nguva isingatarisirwi yekumira.

Mabhenefiti eSiC Coatings ekudzivirira kufanana kwekupisa uye kusvibisa

Chinhu chakakosha pakushandisa SiC coated epi susceptors kugona kwavo kuchengetedza tembiricha dzakagadzikana panguva yekukura. Mawafers anoiswa mu epitaxial reactor uye anoonekwa pakupisa kwakanyanya, kunyangwe mabundu madiki anogona kukanganisa kukura kwefirimu. Sic coating Inoparadzira kupisa kwacho zvakaenzana pamusoro pechinhu zvichikonzera mamiriro akafanana pawafer imwe neimwe. Izvi zvinogona kuita mutsauko mukuru mukugadzira zvigadzirwa zvakaita sema LED eGaN kana zvishandiso zvemagetsi, uko ukobvu nekuumbwa kwezvikamu kunofanirwa kunge kwakafanana kubva pawafer kuenda kune wafer. Fungidzira kuti uri kugocha panzvimbo yakanaka yekubikira yakati sandara. Kana pamusoro pacho pakaenzana, zvikamu zvese zvechikafu zvinobika nechiyero chimwe chete. Zvikasadaro, zvimwe zvinotsva uye zvimwe hazvizobiki zvakakwana. Izvi zvinoshandawo pakugadzira wafer, musiyano chete ndewekuti chikafu irwo rukoko rutete rwekristaro runoda kuumbwa nemazvo. Chimwe chinhu chikuru ndechekudzivirira kusvibiswa. Mumakamuri ekupisa kwakanyanya, zvinhu zvisina kuputirwa zvinogona kuburitsa zvidimbu kana kuita nemagasi ekushanda nekufamba kwenguva. Izvidimbu zvidiki zvinogona kuwira pawafer, uye zvinokonzera zvikanganiso zvakaoma kuona pakutanga, asi zvinozoonekwa sekukundikana kwemidziyo. Kuputira kweSiC kunodzivirira pamusoro seganda uye kunoderedza mhedzisiro isingafadzi. Mainjiniya achaonawo kuti, mumamiriro chaiwo ekugadzira, goho rekamuri rekuchenesa richawedzera nekushandiswa nguva dzose kwezvikamu zvakaputirwa neSiC. Muenzaniso ndewemitsetse yekugadzira LED: kungoti kudzikira kudiki kwehuwandu hwezvimedu kunoita kuti pave nebudiriro yakanaka. Kupfeka uku kunobatsirawo kuti pamusoro payo pave nekupfava nekufamba kwenguva. Nzvimbo yakapfava zvinoreva kuti hapana "nzvimbo dzinonamira kana kuti dzinoungana" apo zvimedu zvinogona kunamira. Izvi zvinoita kuti pave nyore kucheneswa uye zvinoita kuti pave nenguva yakareba. Zvisinei, mukuita, mamiriro ekupfeka achiri kutariswa nevashandi. Sezvo nzvimbo yacho ichitanga kupera, pachava nekuchinja kudiki mukupararira kwekupisa kwenzvimbo yacho uye njodzi yakakura yekusvibiswa. Kutsiva/kudzoreredza nguva nenguva kunoita kuti maitiro acho ave akagadzikana uye kunodzivirira kurasikirwa kwemawafers panguva yacho.

Kuenderana neSilicon neSiC Epitaxial Applications

SiC coated epi susceptor inowanzo sarudzwa nekuda kwekugona kwayo kushandiswa pakuita silicon nesilicon carbide epitaxial processes. Zvinhu zviviri izvi zvinogona kunzwika zvakafanana, asi zvinoita zvakasiyana kana zvasangana nekupisa kwakanyanya uye magasi anoshanda. Ndipo panoshanda zvinoenderana. Kazhinji mamiriro akachena uye akagadzikana anodiwa musilicon epitaxy. Susceptor haigone kusangana nemagasi akadai se silane kana mamwe magasi anoshandiswa kuisa silicon layers. SiC coating inobuda inodzivirira graphite iri pasi kuti isashande nemaitiro acho. Izvi zvakakosha kuchengetedza michina yakaita semasensa, maCMOS chips uye magetsi emagetsi zvakachena sezvinobvira. Zvinodiwa zvakanyanya kune silicon carbide epitaxy. Kupisa kwekukura kunodziya, nharaunda yemakemikari inonyanya kusimba. Susceptor pamusoro inogona kusagadzikana uye kutanga kupwanya kana kuburitsa zvidimbu. SiC coated pamusoro inodzivirira mamiriro aya zviri nani uye inoita kuti zvikwanisike kushanda kwenguva yakareba pasina shanduko huru mumhando yechigadzirwa. Mumwe muenzaniso weizvi kushandisa mudziyo wekicheni mumwe chete kune mamwe maresipi. Chishandiso ichi chinofanira kunge chakasimba uye chakachena zvakakwana kuti chisachinje kuravira kwechikafu chimwe nechimwe. Ne epitaxy, kusvibiswa kudiki kunogona kuchinja hunhu hwemagetsi, zvichiita kuti kuwirirana kwezvinhu kuve chinhu chakakosha kufunga nezvacho. Pakugadzira chaiko, michina inoshandisa silicon pamwe neSiC ingada maitiro akafanana pa silicon neSiC. Izvi zvinoderedza kudiwa kwekuchinja-chinja michina kakawanda, uye zvinochengetedza kugadzikana kwakawanda mukugadziriswa kwemaitiro. Kana sisitimu yekuputira SiC yakagadzikana yagadzirwa, zviri nyore kuti mainjiniya vagadzirise resipi, sezvo mamiriro ekutanga asiri kuchinja nguva dzose. Chimwe chinoshanda ndechekufananidza kwekupisa. SiC coating yakakodzera zvirinani kubata kuwedzera/kudzikama pasi pekupisa kwakanyanya, zvichibatsira kumhanyisa maitiro ese esilicon neSiC pasina kuunza zvikanganiso zvine chekuita nekushushikana. Kugadzikana uku nekufamba kwenguva kunobatsira kuwana goho rakawanda uye kushomeka kwemaitiro asingatarisirwi.

Kuenzanisa Pakati peSiC Coated neAlternative Susceptor Materials

MaSiC coated susceptors dzimwe nguva anoenzaniswa nemaUncated graphite nemaQuartz susceptors uye dzimwe nguva ane maCoated TaC susceptors kuti asarudze susceptor yekukura kwe epitaxial. Chinhu chimwe nechimwe chakasimba, asi chinoita zvakasiyana zvikuru mushure mekunge chagadziriswa kwenguva yakareba pakupisa kwakanyanya. Chinhu chakakosha iGraphite isina chinhu. Inodzivirira kupisa uye iri nyore kucheka kuita mafomu nemagadzirirwo anonakidza. Chinonyanya kukosha ndechekuti kugadzikana kwepamusoro kunorasika. Graphite inogona kuita zvishoma nezvishoma nemagasi e process pakupisa kwakanyanya uye inoburitsa zvidimbu. Izvi zvinokonzera matambudziko maererano nekusvibiswa uye kuchenesa/kutsiva kakawanda nekufamba kwenguva. Iyi inzvimbo isina simba mumitsetse yekugadzira inoda kudzorwa kwakasimba. Mamwe maitiro ekupisa kwakaderera anoshandisa quartz susceptors. Inodzivirira mamwe makemikari, yakachena asi haigone kutsungirira kupisa kwakanyanya. Zvisinei, quartz inogona kukanganiswa kana kusagadzikana pasi pemamwe mamiriro ezvinhu, kunyanya panguva yekukura kweGaN kana SiC, zvichideredza kushandiswa kwayo mumashandisirwo epamusoro epitaxy. MaSiC coated susceptors ari pakati asi akarerekera kukushanda kwepamusoro. Kuputira uku kunoiswa pachigadziko chegrafiti kuti kuome pamusoro uye kupa graphite kugadzikana kwemakemikari. Izvi zvinoderedza huwandu hwezvinhu zvinogadzirwa uye zvinochengetedza kugadzikana kana zvichishanda kwenguva yakareba. Zvinowedzerawo kuramba kukanganiswa negasi kunyanya munzvimbo dzine hukasha. Zvimwe zvinhu zvepamusoro zvinosanganisirawo ma susceptors akafukidzwa neTaC. Anogona kurarama munzvimbo dzakanyanya uye tembiricha dzakakwirira, anowanzo kudhura uye angasadiwi pamitsetse yekugadzirwa yakajairika. SiC inowanzo sarudzwa kune akawanda ma fabs sezvo ichipa kubvumirana kunogamuchirwa pakati pekugadzikana kwemaitiro, kugara kwenguva refu, uye mutengo. Mukugadzira chaiko, sarudzo inogona kunge yakavakirwa pazvinangwa zvekugadzira. Ma fabs e LED, semuenzaniso, anofarira vhoriyamu uye kugadzikana kwegoho, anoona masisitimu ane SiC coated achinyanya kufarirwa nekuti anoderedza nguva yekushanda uye anochengetedza mhando yewafer. Kuti ishandiswe muzvishandiso zvakawanda zvinoshanda, SiC isarudzo yakanaka inogona kushandiswa nekupisa kwakasiyana-siyana, nepo mukutsvaga, machira epamusoro-soro anogona kuyedzwa. Muchidimbu, zvimwe zvinhu zvakakodzera kushandiswa kwakasiyana asi machira eSiC akafukidzwa akasiyana nekukwanisa kwawo kugara kwenguva refu, kuchena uye kupa kupisa kwakasimba panguva imwe chete.

Kuenzanisa Kwemari Nekushanda Kwekugadzira Zvinhu Zvakanyanya

Iyo susceptor haisi chikamu chehunyanzvi chete mukugadzirwa kwe epitaxial yakawanda. Inokanganisawo mutengo wekushanda, nguva yekushanda uye kugadzikana kwezvinobuda nekufamba kwenguva. SiC coated epi susceptors inogona kuratidza kuti inoshanda zvakanyanya panyaya iyi; kubvumirana kunoshanda pakati pekushanda nemutengo. Panyaya yemutengo, SiC coated susceptor inodhura kupfuura bare graphite. Kune mamwe matanho uye kudzora kwakasimba kwemhando ye coating process. Mamwe ma fabs anogona kusada pakutanga nekuda kwemutengo wepakutanga wakakwira. Zvisinei, munyika chaiyo yekugadzira, handizvo zvazviri. Munzvimbo dzekupisa kwakanyanya uye reactive gas, bare graphite parts dzinowanzo pera nekukurumidza. Izvi zvinoguma nekuwedzera kuchenesa, kudzoreredza kana kutsiva zvachose. Aya ese matanho achabatsira kunonoka mutsetse kana kutomisa kugadzirwa zvachose. Masekondi mashoma ekushanda pachishandiso anogona kudhura zviuru zve wafers kana wafers dziri kugadziriswa dziri kuyerera muhuwandu hwakawanda. SiC coating inowedzera hupenyu hwebasa. Inobatsira kudzivirira kurwiswa kwemakemikari pasi uye inoderedza kudonha pamusoro. Izvi zvinoderedza huwandu hwenguva dzekugadzirisa uye zvinoita kuti simbi dzigare dzakagadzikana. Kugadzikana uku kunogona kukonzera kugadzirwa kwepamusoro kwemidziyo ye LED/power, kunyangwe mutengo wekutanga wakakwira. Chimwe chinhu ndechekuti goho rinogara rakafanana. Kana pamusoro pe susceptor panoramba pakadaro, musiyano uripo pakati pe wafers unodzikira. Mufekitori yekuunganidza zvinhu, kunyangwe goho risingakoshi rinogona kutsiva kuchengetedza zvinhu munguva pfupi. Mumwe mugadziri we LED, semuenzaniso, akataura kuti yaive nezvikanganiso zvishoma zvinobva mushure mekushandisa zvikamu zve SiC zvakaputirwa, zvichiita kuti pave nekugadziriswa kushoma uye kusara kwenguva refu. Panewo mari yakavanzwa yekugadzirisa maitiro. Nguva dzese paine shanduko kana kuora kwe susceptor, resipi itsva ingangoda kugadzirwa kana kugadziriswa kuti ive nechokwadi chekuti mhedzisiro yacho inogara yakafanana. Nzvimbo yakaputirwa ne SiC yakasimba ichaderedza kugadziriswa uku, nokudaro ichichengetedza nguva nesimba reinjiniya. Pakupedzisira, hazvisi kungotenga chikamu. Zviri pamusoro pekuti system inogona kugadzira ma wafers mangani akagadzikana kusvika panodiwa kugadzirisa. MaSiC coated susceptors anogona kushandiswa mumitsetse yakawanda yekugadzira yakawanda kuchengetedza kuvimbika uye mutengo wakaenzana.