Nei TaC Coated Susceptors Yakakosha Pakuita Advanced MOCVD Epitaxial Processes

Mukugadzirisa kweMOCVD epitaxial kwepamusoro, kudzora tembiricha uye kugadzikana kwepamusoro kunogona kuva musiyano pakati pemhando yewafer inogamuchirwa neisingagamuchirwi. Chinhu chidiki asi chakakosha mukati me reactor i susceptor inoshandiswa kubata nekupisa substrate panguva yekukura. Kana yakafukidzwa ne tantalum carbide ( Tac coating ) inova yakasimba zvakanyanya kana tembiricha yakakwira uye/kana magasi anochinja-chinja. Izvi zvinoita kuti pamusoro payo parambe pakatsetseka uye zvinodzivirira mafambiro anogona kukanganisa kunaka kwefirimu. Mumitsetse chaiyo yekugadzira, kunyanya kune maLED nema semiconductor emagetsi, kuwedzera kudiki kwekuenzana kunogona kukonzera goho rakawanda uye zvikanganiso zvishoma.

Basa reSusceptor muMOCVD Kudzora Kupisa uye Kuyerera kweGasi

Chinovhara jira ndicho chinhu chikuru chinoshandiswa nechinhu chinovhara jira mukati meMOCVD reactor. Ndiyo puratifomu inobata chivharo, uye inoendesa kupisa kuchivharo kuitira kuti chivharo chisvike uye chichengetedze tembiricha yakakodzera yekukura kwekristaro. Mudziyo wekupedzisira unogona kunge usina kunaka kana kuti usingashande zvakanaka kana tembiricha isina kufanana, sezvo firimu diki risina kuumbwa zvakaenzana. Chinangwa chikuru chechivharo ndechekudzora kupisa. Chinofanira kugovera kupisa zvakaenzana pamusoro pechivharo. Zvisinei, mukugadzirwa chaiko, senge machipisi eLED kana zvishandiso zvemagetsi zveGaN, mutsauko wetembiricha kubva kune rumwe rutivi rwechivharo kuenda kune rumwe unogona kukonzera shanduko dzemavara muLED kana kupararira kwehunhu hwemagetsi muchishandiso chemagetsi. Kana pamusoro pechivharo jira papera, kana kuti pakaita magasi ekushanda, madonhwe ekupisa anotanga kuumbwa uye goho rinotanga kudzikira pasina yambiro. Chimwe chinhu chakakosha kuyerera kwegasi. MuMOCVD, magasi ane tsime resimbi netsime renitrogen anoiswa pamusoro pechivharo. Magasi aya anoyerera zvichienderana nechimiro uye mamiriro epamusoro pechivharo. Nzvimbo yakatsetseka uye yakagadzikana inoita kuti zvinhu zvifambe zvakanaka uye kuti zvinhu zvinogoverwa ku wafer zvakaenzana. Kana pamusoro payo pakaomarara kana kuti pasagadzikana nemakemikari, gasi rinogona kuyerera zvisina kuenzana zvichikonzera musiyano weukobvu hwezvikamu zvakakura. Kune mamwe magadzirirwo, mainjiniya vanoona kuti vanogona kuwana kufanana kuri nani kunyangwe vakangochinja mamiriro e susceptor nepo mamwe ma parameter ese achiramba asina kuchinja. Zvinobatsira kunzwisisa hukama hwepedyo pakati pemaitiro ekupisa uye simba regasi rechinhu ichi chimwe. Susceptor mukushanda haisi chinhu chinobata, asi chishandiso chakasimba chekugadzirira nekushandisa zvinhu. Inoita basa re heat control uye gas control surface mukati mekamuri. Kana ikashanda zvakanaka, maitiro ese anova nyore kufungidzira, izvo zvakakosha pakugadzira semiconductor yakawanda.

Matambudziko Ezvinhu Mukukura Kwepamusoro kweAl-GaN neAlGaN

Kukura kweAl content GaN neAlGaN layers muMOCVD hakusi nyore kuratidza kukura kweGaN. Kana huwandu hwealuminium hukawedzera, maitiro acho anotanga kushanda nenzira inonzwisisika. Zvikanganiso mukristaro zvinogona kuonekwa nekubwaira kweziso nekuchinja kudiki mukupisa, mamiriro epamusoro kana zvinhu zvereactor. Chimwe chekutanga ndechekuita kwearuminiyamu. Trimethylaluminium inoora nekukurumidza pakupisa kwakanyanya uye ichaita chero chinhu chiri mukamuri reaction. Kunze kwekunge pamusoro pereactor pakadzikama, madhiragi asina kufanira anogona kuiswa. Madhiragi anogona kuzoputika kana kuchinja mamiriro ekukura kwenzvimbo, nokudaro achikanganisa kufanana kwemadhiragi. Dambudziko rechipiri nderekudzora tembiricha yewindo. Kazhinji, tembiricha yekukura yakakwira inodiwa kuti High-Al GaN ive yakanaka, asi tembiricha yakakwira inogonawo kukonzera kuora kana nzvimbo dzakaoma. Mumitsetse chaiyo yekugadzira ine UV LEDs kana mudziyo une simba rakawanda, mainjiniya vanoziva kuti kunyangwe tembiricha shoma inochinja urefu hwemhepo yeUV kana kushanda kwayo kudzikire. Zvakaomawo kudzora kufamba kwenzvimbo. Maatomu ealuminium haafambi nyore nyore pamusoro semaatomu egallium. Izvi zvinowedzera kuoma kwekutsvedzerera kwelayer. Simba repamusoro refirimu rinofanira kugadziriswa nemazvo, kana firimu racho rakakombama, kana kuti V-pits, nezvimwewo. Mune mamwe mamiriro ekugadzira, zvakaonekwawo kuti nekuchinja zvinhu kana machira ekamuri, zvinogona kugadzirisa matambudziko aya. Kugadzikana kwemakemikari emadziro kana susceptor kunogona kudzikamisa maitiro eAl species uye kuita kuti firimu rikure zvakaenzana. Kushushikana zvakare kune dambudziko. Kusawirirana kwelattice kunogona kukonzera kushushikana kukuru mukati meAlGaN layers. Sezvo kukura kusiri nguva dzose kwakafanana, kana paine shanduko dzakakura mumamiriro ekukura, zvinotungamira kumatambudziko anounganidzwa kana mazinga ekushushikana akadarika chiyero, zvichikonzera kutsemuka kana bows. Kutaura zvazviri, kukura kweHigh-Al hakusi kunanga huwandu hweAl hwakakwira, asi zvakare kuwana kuenderana kwemaitiro ese ekukura.

Mabhenefiti Ekushanda kweTaC Coatings Mumamiriro Ekunze EMOCVD

Mamiriro ezvinhu anogona kuoma muMOCVD reactor. Zvinhu zviri munzira yakananga yekupisa, magasi anochinja-chinja uye nguva yakareba inobatanidzwa mukugadzirwa kwezvinhu zvinokanganisa. Ndipo pano panowanikwa migumisiro yakanaka ye CVD TaC Kupfeka kunogona kuonekwa, kunyanya kune epitaxial growth susceptors. Chimwe chezvinhu zvakanaka zveTaC coating isimba rayo remakemikari. Kamuri rekukura rinozadzwa nesimbi-organic gasses uye ammonia panguva yekukura kwezvinhu (ona mufananidzo uri pazasi) zvakaita seGaN kana AlGaN. Zvimwe zvinhu zviri kushandiswa parizvino zvinobata kana kuora zvishoma nezvishoma panguva iyi. TaC inodzivirira zvakanyanya mhando idzi dzemhedzisiro uye inogona kuchengetedza chimiro chayo, ichipa nzvimbo yakagadzikana kwenguva yakareba. Izvi zvinofanirwa kuchengetedza kufanana kwewafer-to-wafer kwemamiriro ekukura. Kudzivirira kupisa ndeimwe bhenefiti. MOCVD ibasa rinopisa zvakanyanya. Mushure menguva yakati wandei yekupisa, wafer yakafukidzwa inofanira kuramba yakati sandara uye yakasimba. Nzvimbo yekunyunguduka yakanyanya uye kuramba kuchinja patembiricha idzi kunogona kuderedza kuchinja kwakadai sekukombama uye kuchinja kwenzvimbo, nokudaro kuderedza shanduko mukufanana kwewafer-to-wafer nekufamba kwenguva refu kwekugadzira. Kushandisa nzvimbo yakachena ibhenefitiwo. Munzvimbo isingadzoreki, kusvibiswa kwenzvimbo kubva kususceptor kunogona kukonzera kuiswa kwezvikamu pawafer zvichikonzera kudzikira kwegoho kubva mukukanganisa. TaC yakavhara graphite hita ichachengetedza nzvimbo yakatsetseka isinganyanyi kugadzikana uye inodzivirira kuiswa kwezvimedu zvisingadiwe. Mune dzimwe nzvimbo dzekugadzira LED, mainjiniya akaona kuti kuchinja kushandisa TaC-coated susceptors kunowedzera nguva dzekugadzirisa. Sisitimu iyi inogona kushanda nemabheti akasimba pasina kucheneswa kwekamuri nguva dzose uye kutsiva zvikamu. Izvi hazvizobvisi kudiwa kwekugadzirisa, asi zvichawedzera kufanotaura kwekugadzirwa. TaC coatings inobatsirawo kudzokorora kuri nani. Kana hunhu hwekupisa nemakemikari hwe susceptor hukaramba hwakagadzikana, nzira yekukura inogona kudzokororwa zviri nyore. Izvi zvakakosha mukugadzirwa kwehuwandu, uko kusiyana kudiki pakati pemidziyo kunogona kukonzera kusiyana kukuru mukushanda. Muchidimbu, TaC coatings inobatsira susceptor kutsungirira mamiriro akaoma, uku ichipa nzvimbo yekukura yakagadzikana uye inodzorwa zvakanaka.

Kuvimbika uye Kuwedzerwa Kwemahwindo Ekuita Kwakagoneswa neTaC

Kugadzikana kwenguva refu kwakakosha mukugadzirwa kweMOCVD sekuwana mhedzisiro yakanaka muwafer imwe chete yekuyedza. Masusceptor ane TaC-coated anopa mabhenefiti akajeka panguva ino. Anovimbisawo maitiro akagadzikana, zvichikonzera shanduko shoma mumhando yewafer uye kudiwa kwekuchinja mabikirwo kakawanda. Danho rekutanga rekuvimbika imhinduro yenzvimbo nekufamba kwenguva. Kudziyisa kakawanda uye kusangana nemagasi anochinja zvinogona kukonzera kuti pamusoro pemushonga wakajairwa uchinje zvishoma nezvishoma. Mushure meizvozvo, kugoverwa kwekupisa uye kudyidzana nemagasi kunotanga kutenderera. Pamusoro pacho panoramba paine chimiro chayo uye kugadzikana kwemakemikari zvakanyanya neTaC coating. Kune mitsetse chaiyo yekugadzira inogadzira maLED akavakirwa paGaN, izvi zvinogona kuoneka semepu yewafer yakafanana kubva pabatch yekutanga kusvika yekupedzisira muzuva rekugadzira. Chimwe chinhu chakakosha ihwindo remaitiro rakafara kupfuura. Zvichitaurwa zviri nyore, izvi zvinoita kuti maitiro acho ave anokanganwira. Hunhu hwefirimu hahukanganisike zvakanyanya nekuchinja kudiki mukupisa, kuyerera kwegasi, kana nguva yekushanda. Mukugadzirwa kwehuwandu, kune shanduko zhinji diki idzo mainjiniya asingakwanise kudzivirira zviri nyore. Kusiyana uku kunoderedzwa nekuva neTaC surface yakagadzikana. Zvisinei, kunyangwe kusagadzikana kudiki kunogona kukonzera kudonha kwenzvimbo kana kudonha kwewavelength kana paine maAlGaN layers akarimwa eUV LEDs. Kuchinja kudiki ikoko hakuzokonzere matambudziko nekugadzikana kwenzvimbo. Ipapo pane dambudziko kana uchishanda kwenguva refu. Kana reactor isina kuputirwa, vashandisi vanogona kumisa reactor kakawanda kuti vachenese reactor kana kuongorora zvikamu. Kumira kwega kwega kune chekuita nekushanda kwayo uye kunounza shanduko kana system yatangazve. Nguva iri pakati pekugadzirisa inowedzerwa pazvikamu zvakaputirwa neTaC, izvo zvinosimudzira kushanda kunoramba kuripo kwemaitiro acho. Kugadzikana uku mufekitori chaiyo kunoita kuti chivimbo chikure. Matimu anogona kuisa mari yakawanda mukuwedzera kugadzirwa uye kuwedzera goho pane kuramba achigadzirisa system. Izvi zvinoguma nekuderedza kurambwa kwemawafers nekufamba kwenguva, uye mutsetse wekugadzira unoramba uripo, kunyanya kune zvishandiso zvinodiwa zvakanyanya senge maUV LED akadzika uye magetsi emagetsi.

Maitiro Ekushandisa Anosimudzira Kugamuchirwa kweTaC Coated Susceptors

Saka maTaC coated susceptors haasi kwese kwese mukugadzirwa kwema semiconductor. Anonyanya kuoneka mumamiriro ezvinhu apo michina inopinzwa kupisa, chemistry uye kurongeka kusvika pamiganhu yayo. Zvinhu zvakawanda zviri kufamba nenzira iyi yekupenda sezvo zvinodiwa nemidziyo zvichiwedzera. Nzvimbo huru yekushandisa ndeyekugadzira maLED ane GaN. Ma epitaxial layers anoshandiswa muindasitiri yekuratidzira nemwenje akafanana zvakanyanya. Kunyangwe musiyano mudiki muwafer mumafekitori makuru e LED anogona kukonzera kusiyana kweruvara rwemachipisi. Tembiricha nemamiriro epamusoro zvakagadzikana zvakanyanya neTaC-coated susceptors, zvichibvumira MOCVD kumhanya kwenguva refu uye zvichibatsira kuti chiedza chibude zvakanaka. Magetsi emagetsi chimwe chinhu chikuru. Midziyo yeGaN neAlGaN inoshandiswa mumhando dzakasiyana-siyana dzakadai sema fast chargers, mota dzemagetsi, uye masisitimu ekushandura magetsi. Midziyo iyi inoda simba rakawanda rekupwanyika uye hunhu hwakagadzikana hwemagetsi. Nzvimbo iri mureactor panguva yekukura inofanira kudzorwa zvakanaka. Machira eTaC anobatsira kuderedza chiyero chekudonha kwemhepo muhunhu hwekupisa, nokudaro zvichiita kuti ukobvu hwakaenzana uye kuumbwa kwezvikamu zvivepo. Ariwo kukurudzira kushandiswa kwema LED eUV akadzika. Midziyo iyi inosanganisira kushandiswa kweAlGaN layers ine aluminium yakawanda iyo kukura kwayo kwakaoma. Maitiro epamusoro uye shanduko dzekupisa zvinonzwisisika kune maitiro acho. Mune mimwe mitsetse yekugadzira, mainjiniya vanoona kuti kushandisa zvikamu zveTaC zvakaputirwa kunotungamira mukuvandudzwa kwekutsetseka kwepamusoro uye kudzora kufanana kwezvikamu, izvo zvine simba rakananga pakushanda kwemidziyo. Mamwe mashandisirwo anosanganisira kutsvagisa uye mitsetse yekugadzira yekutanga. Kugadzirwa kwezvinhu zvitsva kumayunivhesiti kana mumarabhoritari eR&D kunowanzo sanganisira shanduko dzekubika uye dzekuedza. Nzvimbo yakagadzikana yesusceptor inoderedza zvinhu zvisingadiwe uye inoita kuti zvive nyore kuona kuti shanduko yezvinhu ichakanganisa sei mhedzisiro. Zvakajairika munzvimbo chaiyo dzakanaka kuti sarudzo yekushandisa Susceptors neTaC coating inoitwa mushure mematambudziko akadzokororwa nezvidimbu, kutenderera kwenguva pfupi kwekuchengetedza kana mhando yewafer. Kubatsira kunowanzoonekwa semhedzisiro yekuyerera kwakanaka kwekugadzirwa uye kudzikira kwekuchinja kwemaitiro asina kurongwa mumatanho ekukura epitaxial akakosha kana angoiswa.