Kuchenesa Kwakachengeteka kweAIXTRON Susceptor Pasina Kukuvadza CVD SiC Coating

Nzvimbo yeCVD SiC yakaputirwa ne susceptor inofanira kuramba yakachena, asi haina kusimba uye inogona kukuvara nekuda kwekusabatwa zvakanaka. Muzviitiko zvakawanda, zvikanganiso zvidiki pakuchenesa zvinogadzira kuomarara kwenzvimbo kana mavanga madiki anokanganisa kunaka kwewafer pasi. Mumwe mainjiniya wekugadzirisa akataura kuti kuchinja kubva pa scrub pad yaaishandisa kuenda ku soft compliant washer kwakagadzirisa matambudziko ekusakara kwe coating. Hazvisi chete kuti zvasara zviri kubviswa, asi SiC layer inochengetwa isina kukuvadzwa kuitira kuti irambe ichizadzisa basa rayo re thermal isolation ye Sic yakavharwa graphite susceptor .

Nzira Dzakanakisisa dzekuchenesa ganda reAIXTRON G5/G10 Susceptor dzehupenyu hurefu

Nzira yakanakisisa yekuchenesa maAIXTRON G5 neG10 susceptors haisi "yekuchenesa kwakasimba", asi yekuchenesa ndeyekuchenesa nekubvisa zvishoma nezvishoma maburi kuitira kuti isakuvadze CVD SiC coating. Mitsetse yakawanda yekugadzira ichave nehupenyu hwakareba hwe Epitaxial susceptor Kana kuchenesa kuri chikamu chemaitiro ese kwete danho rechisimba. Imwe nzira yakajairika yekuchenesa ndeyekuchenesa gasi mukati me reactor. Zvinoreva kuchenesa zvikamu zveSiC kana kabhoni nerubatsiro rwemagasi anobva kuhalogen patembiricha inodzorwa. Chinokosha chekubudirira tembiricha inodzorwa, kuitira kudzivirira coating kubva pakurwiswa. Mainjiniya mazhinji anoda nzira iyi sezvo isina kubatana (izvo zvinokonzera kukwenya kudiki). Kuchenesa kwakaderera kwemvura kana uchidzimwa kwekugadzirisa kunoshandiswawo zvakanyanya. Ine kuchenesa kwe solvent kuti ibvise zvinhu zvakasununguka, wobva wanyudza nekungwarira mu chemical dips kuitira kubvisa kusvibiswa kubva kusimbi nema oxides. Mutemo wekutanga wekurangarira ndewekuti 'hapana maturusi ekukwesha, hapana kupukuta kwakakasharara'. Kunyangwe kukwenya kudiki pamusoro kunogona kushanda semugadziri wezvinhu panguva yekupisa kwakanyanya. Imwe nzira inoshandiswa nevamwe hunyanzvi ndeyekushandisa kutenderera kwekuchenesa. Kuchenesa kushoma mushure mekushanda kwega kwega kunoitwa uye kuchenesa kwakadzika kwemakemikari kunoitwa chete panguva yekudzimwa kwakarongwa kwekugadzirisa, pane panguva yega yega. Izvi zvinoderedza kumanikidzwa kwe coating yeSiC. Imwe kambani yekugadzira SiC inoti yakadzikira pakukanganiswa kwejira rekuputira sezvo yakachinja kubva pakuchenesa kwevhiki nevhiki kuenda pakucheneswa kwemazuva ese uye kucheneswa kwemwedzi nemwedzi zvichibva pane zvabuda mukuongorora. Vanhu vazhinji havazivi kukosha kwekudzora kutonhora. Kutonhodza zvishoma nezvishoma kwejira rekuputira usati wachenesa kwakanaka pakuderedza kupisa. Kuchinja kwekupisa kunogona kunge kuri chikonzero chekutsemuka kwejira rekuputira, kunyangwe pasina mhedzisiro inoonekwa ipapo ipapo. Kutaura zvazviri, kazhinji hupenyu hwejira rekuputira hunowanikwa kuburikidza nekusanganiswa kwemaitiro matatu aya; kuchenesa kwakadzorwa mukati, kuchenesa kwakadzika uye kubata zvakanaka, kuitira kudzivirira kutadza kwejira rekuputira (G5/G10) uye kuve nechokwadi chekuti hupenyu hurefu uye goho riri nani.

Kudzivirira Matambudziko eParticle muEpitaxy Munguva Yekuchenesa Kemikari

Zvidimbu zvinogona kunge zviri chimwe chezvinhu zvakakosha mukugadzirisa epitaxy zvakanaka kana uchichenesa nematanho emakemikari. Zvese zvasara firimu kana tsvina zvishoma zvichaguma pamusoro pewafer uye zvichikonzera zvikanganiso zvakaoma kutevedzera. Asi, kazhinji, danho rekuchenesa ndiro rinopa dambudziko pane kurigadzirisa. Dambudziko riri pachena nderekushambidza kwakakwana mushure mekugezesa nemakemikari. Kemikari isina kusukurudzwa zvakakwana kubva pachikamu, panguva yekupisa inotevera inooma pa susceptor kana pakamuri uye inova zvidimbu zvidiki. Kudonhedza mvura yakachena uye kuibvumira kuti iome zvakanaka pasina kushandisa mhepo inomanikidzwa, izvo zvinogona kuiparadzira zvakanyanya zvinogona kuderedza izvi. Imwe dambudziko nderekuchenesa mushure mekuchenesa. Muzvinhu zvakawanda, zvikamu zvakachena uye zvinosiyiwa kwenguva yakareba mumhepo yakashama. Guruva rinogona kugara pamusoro pasina kuonekwa nemunhu - guruva rinobva mukamuri rekushambidza. Nyanzvi yezvekugadzira inonzi yakabvisa matambudziko ekudzokorora kwezvikamu nekushandisa chifukidziro chetireyi inotamisa zvikamu, ichishandisa kemikari yekuchenesa yakafanana neyaimbovapo. Kuenderana kwekuchenesa nezvikamu kwakakoshawo. Kemikari inogona kuita zvakasiyana neyakare Sic coating kana kuti simbi dzinopwanya simbi dzogadzira jira rakatetepa rinogona kupwanyika mushure mezvo. Ichi ndicho chikonzero nei mapoka mazhinji ari kutarisa kemikari yekuchenesa pamidziyo yekuchengetera. Kudzora chikamu chekuomesa chimwe chinhu chinogona kuregeredzwa. Mavara acho anogona kuitika nekuda kwemvura inosara muchuck pachayo uye anogona kusiya madota emaminerari. Kazhinji, chikamu chekuomesa chinononoka saka, nguva yakareba yekufamba ichapa kupera kwakachena. Pfupiso ndeyekuti hapana chikanganiso chimwe chete chakakosha chinowedzera matambudziko ezvimedu. Ikubatanidzwa kwekusuka, kubata nekuomesa. Epitaxy inogona kugadzikana uye kudzokororwa nekuita maitiro matatu ari pamusoro apa nemazvo uye zvinyoro nyoro.

Graphite Yakachena Zvikuru Inoita Sei Pakucheneswa Neasidhi Neplasma?

Zvakanakira kushandisa graphite yakachena kwazvo kuma epitaxy systems nekuda kwekupisa kwakanyanya uye nguva yakareba yekushandisa. Zvisinei, pamusoro pe graphite hunochinja nenzira dzisinganzwisisike nekufamba kwenguva mumabasa ekuchenesa acid/plasma angave asingaonekwe zviri nyore: Graphites hadzinyunguduke kana kukurumidza kunyungudutswa panguva yekuchenesa acid, asi reaction inogona kuitika pamusoro. Acids dzakasimba dzinogona 'kurwisa' pamusoro uye kugadzira makomba panzvimbo yakatsetseka pakutanga. Nzvimbo dzakaoma dzakadaro dzinogona kuva nzvimbo yekusvibisa zvidimbu kana masara ekuchenesa. Zvinozivikanwa mune zvakawanda zvinhu kuti, nekufamba kwenguva, zvikamu zvekare zve graphite zvinotanga kuunganidza zvidimbu zvakawanda, nepo nzira yekuchenesa ichiramba yakafanana. Kazhinji, izvi zvinokonzerwa nekuonekwa kweacid kwenguva refu. Kuchenesa plasma kune mhedzisiro yakafanana asi yakasiyana inokuvadza. Kusiyana nekuchenesa acid, kubvisa carbon layers ne oxygen uye/kana fluorine plasma kunoshanda, asi pamusoro payo pachawo unogona kubviswa layer-by-layer. Kucheka zvishoma nezvishoma pamusoro pe graphite kunotungamira mukuchinja kwemagadzirirwo, uye kunogona kukonzera kuti zvikamu zvive zvisina kusimba pane dzimwe nzvimbo. Muzviitiko zvakadaro, maflakes anogona kudonha kana tembiricha yakakwira yoshanda semanyuko ezvimedu mu reactor. Dambudziko iri rakaonekwa pamutsetse wekugadzira. Mushure memwedzi yakati wandei, zvikamu zvitsva zvakacheneswa zvakanyanya (ma plasma cycles akawanda) zvakatanga kugadzira zvikanganiso zvewafer zvisina kurongeka. Plasma yakabviswa, asi yakashandawo zvakanaka kubvisa kusvibiswa. Kuchinja nguva yekuchenesa plasma, kuwedzera huwandu hwekutarisa nemaziso, kwakaderedza mwero wekukuvara. Kuti tidzivise izvi, zvinokurudzirwa kutarisira hupenyu hwepamusoro pegraphite nesimba rekuchenesa. Kuchenesa acid hakufanirwe kugara kwenguva refu uye kunofanira kungobvisa kusvibiswa kunoonekwa chete. Zvakaonekwa kuti ma pulse mapfupi ekuchenesa plasma anoshanda zvinobudirira kupfuura ma pulse marefu. Uyezve, kuchinjana zvikamu zvegraphite zvinoshandiswa pakuchenesa kunoderedza kupera kwegraphite kusvika pamwero wakati. Zvakakosha, graphite yakachena kwazvo inofanirwa kushandiswazve, kwete kuchinjwa kwenguva yese, uye sezvainoshandiswa zuva nezuva, kutenderera kwega kwega kwekuchenesa kunobvisa zvimedu uye kunogadzirisa pamusoro.

Zvikonzero Zvinowanzoita Kuti CVD SiC Coating Crack Ive Yakaoma Mushure mekugadzirisa Kwakadzokororwa

Machira eCVD SiC akagadzirwa kuti ave akasimba, asi kugadzirisa kunofanira kuitwa kakawanda uye kunokonzera kushushikana kwejira nekufamba kwenguva, zvichikonzera kutsemuka. Matsemuka anogona kukonzerwa nekukanganisa kwakawanda. Anoungana nekufamba kwenguva nekuchinja kudiki mukubata, kuchenesa uye kupisa. Chikonzero chinowanzoitika kutsemuka kwejira nekuda kwekuchenesa. Kana chinhu chinonyungudutsa kana chikamu chakaputirwa chikapiswa kana kutonhodzwa nekukurumidza, SiC layer nezvinhu zvepasi zvinokura nematanho akasiyana. Kusawirirana uku kunokonzera kumanikidzwa. Mushure mekufamba kushoma, matsemuka madiki anotanga kuumbwa, uye mushure mekufamba kuzhinji, mutsemuka unokura, kusvika pakupedzisira, hapana chinosara chisina kubatwa. Chikwata chekugadzirisa chepakutanga chakaona kuti nguva yakareba yekutonhodza zvikamu zvisati zvatamiswa kunzvimbo dzekuchenesa yakakonzera kutsemuka kushoma. Chimwe chinonetsa ndechekusangana kwenguva refu kwemakemikari. Chisungo pakati peSiC coating ne substrate chinogona kuputsika zvishoma nezvishoma ne strong acids kana Reactive cleaning solutions. Kunyangwe mhando yega yega yekuchenesa ingaita seisina njodzi, kushandiswa kunowanzoitwa kunogona kutungamira mukushaya simba kwejira mune dzimwe nzvimbo. Nekufamba kwenguva, nzvimbo idzodzo dzisina simba dzinoshanduka kuita nzvimbo dzekutanga kutsemuka. Kukuvara kwekubata michina chinhu chikuruwo. Zvikanganiso zvidiki pamusoro zvinogona kukonzerwa nezviito zviri nyore, zvakaita sezvikamu zvekuzorora panzvimbo dzakaoma, kushanda nezvishandiso zvesimbi, kana kukuvara kudiki pazvikamu panguva yekufambisa. Izvi zvingasava dambudziko pakutanga asi kana tembiricha yakwira, zvinozokura kuita mitswe inooneka. Chimwe chikonzero chakavanzika kucheneswa zvakanyanya kweplasma. Plasma inogona kushandiswa kubvisa zvasara, asi inogonawo kukonzera kuchekwa kusina kuenzana kwepamusoro pechifukidziro kana ichionekwa kwenguva refu kana kakawanda. Izvi zvinovaka kushushikana muchimiro, zvichiita kuti nzvimbo dzekushushikana dzisaite simba. Kuchinja kwechikwata munzira yavakachengetedza mutsetse wekugadzira kwakaguma nechiitiko chaicho apo matambudziko ekutsemuka akaderedzwa. Vakaderedza kudonha kwemakemikari akasimba, vakaunza matireyi ekubata asinganyanyi kusimba uye nguva yekuchenesa plasma yakaderera. Hapana shanduko dzakaitwa pachishandiso, asi zvinoonekwa kuti hupenyu hwechifukidziro hwakawedzera. Pfungwa huru iri nyore kwazvo: SiC coatings hadzikundike nekuda kwekushaya simba kwadzo, imhaka yekuti kugadzirisa kunodzokororwa zvishoma nezvishoma kunodzimanikidza kudarika muganho wadzo wekushushikana. Zvinokurudzirwa kutevedzera nhanho yega yega yekuchenesa zvinyoro nyoro, kuti uwane hupenyu hwakareba hwechifukidziro uye kushanda kwakasimba kwe epitaxy.

Ndeipi Nguva Yokugadzirisa Kana Kutsiva Zvikamu zveEpitaxial muAIXTRON Reactors?

Unyanzvi hwekugadzirisa kana kutsiva zvikamu zve epitaxial mukati meAIXTRON reactors ndekukwanisa kuverenga shanduko diki uye kuziva dzisati dzakonzera kutadza kwechikamu. Hauzowanzoona kuti zvikamu zvemagadzirirwo akadai semaliners, masusceptors nemagraphite zvinongoerekana zvamira kushanda. Pane kudaro zvikamu izvi zvinopera zvishoma nezvishoma nekufamba kwenguva uye panguva iyoyo, matambudziko anogona kutanga kuoneka pamawafer ako. Chiratidzo chaicho chematambudziko anodzokororwa kunyangwe kucheneswa, ndechekuti kana dambudziko rimwe chete richiramba richiitika zvakare. Kana mawafer ako akaramba achiratidza zvikanganiso zvakafanana uye pasinei nekuchenesa, hapana chinochinja, mamiriro epamusoro pechikamu chako angangove asina kunaka zvekusagona kugadziridzwa. Semuenzaniso, mutsetse mumwe chete wakaramba uchiwedzera simba rekuchenesa kuti urwise matambudziko ezvimedu zvavaiona, asi zvakazoitika kuti susceptor yavo pasi peSiC coating yavo yakanga yakatsemuka zvishoma. Kuchinja kwemavara kunooneka kana kupera kwecoating zvakare chiratidzo chaicho. Kazhinji zvikamu zvakaputirwa neSiC zvinotaridzika zvakafanana nguva dzose. Kana ukatanga kuona nzvimbo dzine rima dzisingakwanise kugezwa, kana kuti dzine mavara akasiyana-siyana, zvingangoita kuti pendi yacho yadyiwa kana kuti yakanganiswa. Wamirira kwenguva yakareba kuti ugadzirise panguva ino. Kutsemuka nekupwanyika kwemupendero zvinoratidza kuti kutsiva ndicho chinhu chakanakisisa chauchasarudza. Nguva dzekupisa kwakanyanya dzinowanzo kuparadzira mitswe iyi nekukurumidza kunyangwe kana iri midiki pakutanga. Kupukuta kana kuchenesazve mitswe iyi kunowanzo deredza kugadzikana kwemaitiro acho, pane kuavandudza. Kuchinja kwemaitiro ako akadai sekudonha kwemaitiro kunogona kuva chiratidzo chisina kujeka chekuti kupera kwezvikamu kwava kutanga kuva dambudziko. Zvikamu zvacho pazvinopera, kuyerera kwegasi kana kupararira kwekupisa mukati me reactor kunochinja uye unogona kutanga kuona shanduko mukufanana kwetembiricha, mwero wekuisa kana kuenderana kwewafer pasina resipi yakambochinjwa. Kazhinji shanduko idzi dzinotanga dzaonekwa sedzinosiyana-siyana pakushanda kwete sedambudziko remuchina rinomiririra chikamu chakasakara. Kugadzirisa kwakanyatsokodzera zviitiko apo tsvina iri pasi peganda chete, senge kusvibiswa kudiki, kana kuti panenge paine chiedza chakaiswa pazvikamu. Mumamiriro ezvinhu aya, kungave kuchenesa kwemakemikari kunodzorwa, kana kuti plasma ine simba shoma, zvinogona kudzosa zvikamu mukati memiganhu, asi kana paine kukuvara kwechimiro, chimwe chikamu chinotsiviwa chichava chakavimbika zvikuru nekufamba kwenguva. Chimwe chinhu chinoshamisa chakataura nezvekuti vakaderedza sei nguva yavo yese yekushanda kubva apo chikamu chinokundikana kungoita mutemo wakapfava. Kana vakaona dambudziko rezvimedu zvakafanana kaviri mushure mekuchenesa chikamu chacho chinodhonzwa chotumirwa kunoongororwa, kwete kuti chishandiswe mukugadzirwa. Zvakaonekwa kuti izvi zvakaderedza nguva iyo goho raizodzikira kamwe kamwe. Nzira inonyanya kushanda yekushanda zuva nezuva ichave yekuvaka kugadziriswa kwezvikamu zvinotsiva mukutonga kwemaitiro, pane kuvaka kugadziriswa kwakapoteredza kugadziriswa kunoenderana nemamiriro ezvinhu. Nekunyatsoongorora, kusashanda zvakanaka kwechikamu kunogona kudzivirirwa kuti chigadzirwa chirambe chakazara nekuchengetedza epitaxy yakagadzikana uye nekuita sarudzo nekukurumidza.