Nei Gas Floating Disks Isingawirirane muHigh-Temperature Epitaxy

Madhisiki egasi anoyangarara anoshandiswa mumaitiro e epitaxy anodziya zvakanyanya anopa kugadzikana kuma wafers uye anoachengetedza achitsigirwa nekufamba kwegasi kwakafanana. Munzvimbo yekugadzira, vashandisi vanogona kuona kuti nekufamba kwenguva madhisiki aya anorasikirwa neparallelism yawo. Kunyangwe shanduko diki ingave isingakoshi pakufanana kwekuyerera kwegasi uye kugadzikana kwema wafers, dhisiki rakatetepa rinogona kutanga kubva pakusakara kudiki kana kuunganidzwa pamusoro pedhisiki, uye rinogona kuipa nekufamba kwenguva. Izvi ndizvo zvinofanirwa kunzwisiswa kudzivirira nguva yekushanda uye kukundikana kwechigadzirwa. Mumakore, pamusoro pemazuva ese mukugadzirwa, shanduko diki mukushisa nemamiriro ekuyerera kunogona kusundidzira madhisiki kubva pakurongeka nhasi.

Maitiro ekuchinja kwekupisa muAMAT Centura5200 Gas Floating Disks

Disiki rinoyangarara negasi rinogona kurasikirwa nekusatsetseka kwaro muAMAT Centura5200 system nekuda kwekupisa. Kana tembiricha yakakwira, dhisiki iri rinogona kurasikirwa nekusatsetseka kwaro. Epitaxy kukura , dhisiki rinodziiswa zvisina kufanana nekamuri reactor. Rinogamuchira mwaranzi yakawanda uye simba replasma kubva kumusoro, uye gasi rinotonhorera rinoyerera kubva pasi. Musiyano wekupisa unotungamira mukumanikidzwa kwekupisa muchinhu chacho. Kudzokororwa kwesimbi kana pamusoro pepurasitiki nekupisa kwakasiyana kunotungamira mukuwedzera nekudzika kwechinhu chedhisiki. Kunyangwe kushushikana padanho rega rega rekupisa kungave kudiki, kana kuchiitwa kakawanda kwemazana kana zviuru zvenguva, kushushikana kwakasara kwakawanda kunotanga kukura kwekushanduka kwekupisa. Dzimwe nzvimbo dzinokura nekutambanudza kupfuura dzimwe uye zvinotungamira kune kutenderera kudiki mudhisiki. Kutenderera uku kudiki kunogona kukanganisa cushion yegesi iyo inobvumira dhisiki kuti iyangarare zvakaenzana. Kushanduka kwekupisa kunogonawo kukonzerwa nekuchinja kwekushisa mudhisiki. Chikamu chimwe chedhisiki chinogona kunge chiri pedyo nekwanobva kupisa kana kugamuchira kuyerera kwegesi kushoma kutonhora. Chikamu chimwe chinozotambanudza kupfuura chimwe. Dambudziko iri rinogona kumuka mushure mekugadzirisa kana kuchenesa sezvo hunhu hwekufamba kwegasi hunowanzo chinja, uye zvakajairika kuona kusagadzikana kwedhisiki mushure mekushanda kwataurwa pamusoro apa. Kudonha idambudzikowo. Kupisa kwakanyanya kunokonzera kushanduka zvishoma nezvishoma kwechinhu chedhisiki pasi pemutoro unoenderera mberi. Iyi inzira inononoka pasina kuputsika kamwe kamwe; zvisinei, inomiririra "kurangarira kushushikana" kunononoka. Mune zvimwe zvinhu zvinoshamisa, zvakanzi kwakatsveyama kudiki mudhisiki mushure memwedzi yakawanda yebasa pasina zvikanganiso zvinooneka. Muenzaniso unoratidza unogona kuonekwa kubva ku Sic epitaxy Mutsetse apo wafer yakaratidza ukobvu husina kufanana. Kuongorora kwakanyatsoitwa gasi rinoyangarara mukamuri kwakaratidza dhisiki rakakombama. Chikonzero chikuru chakaongororwa kuti chinobva pakuchinja kwekupisa kwakanyanya, uye kuyerera kwegasi rinoyangarara kumashure kusina kufanana. Kugadzikana kwedhisiki rinoyangarara regasi kunonyanya kuenderana nekugoverwa kwetembiricha kwakadzorwa, kuyerera kwegasi kwakavimbika, uye kutsiva madhisiki asati atanga kukwira zvakanyanya.

Kubatana kweCVD TaC Coating Kunokanganisa Sei Kugadzikana kweDisk uye Kugadzikana?

Machira eCVD TaC anowanzo shandiswa pamadiski anoyangarara egasi nekuti akagadzirwa zvakanaka, anoshanda zvakanyanya pakudzivirira kupisa nekuora pasi penzvimbo yakaoma ye epitaxy. Asi kunyangwe chinhu chakasimba che tantalum carbide hachigone kudzivirira kukosha kwakakosha kwekukora kwakafanana kwejira pakutsetseka nekugadzikana panguva yekushanda kwediski inoyangarara yegasi. Kana ukobvu hwejira hwakaenzana zvakakwana pamusoro pese, diski iri pasi pekupisa kwakanyanya uye kumanikidzwa kwakanyanya kwemagasi inokura zvakaenzana, kupisa kunopararira zvakaenzana padiski pasina kushushikana kwemukati. Panguva imwe chete, gasi cushion riri pasi pediski rinogona kugadzirwa zvakaenzana, izvo zvinobatsira nzvimbo yewafer kuti ive yakasimba panguva yekukura. Dambudziko rinoitika kana paine musiyano mukukora kwejira pamusoro pese. Rutivi rumwe rune chikamu chekuyangarara chakakora zvishoma runowedzera kuomarara kwakanyanya munzvimbo iyoyo uye ruchapindura zvakasiyana pasi pekupisa kwakanyanya, runogona kukura zvishoma nezvishoma kana kutokotama zvichienzaniswa nenzvimbo yakatetepa. Kuburikidza nekupisa kunoenderera mberi, kuunganidzwa kwesimba kunokonzerwa nekusiyana uku kunogona kukonzera kushushikana kwemukati uye kukonzera kukotama kudiki kwechigadziko chedhisiki chakanga chakati sandara pakutanga. Mukugadzirwa chaiko, tinoona dambudziko iri sekukwirira kusingachinji, kana kuti pakati pemawafers panotanga kuchinja zvishoma, kunyangwe zvimwe zvese zvichiita sezvakajairika. Mainjiniya wekugadzira anogona kuzviona paanoona kuti kusiyana kweukobvu hwepakati nepakati hwewafer yakachengetwa kwakawedzera zvisingatarisirwi, asi, pavanotarisa chamber, vanogona kuona kuti dhisiki rinoyangarara ratova ne "lift pattern" isiri pachena iyo inowanzoenderana nekusiyana kwe coating. Ndinoyeuka muenzaniso mumwe wedambudziko iri pamutsetse wekugadzira weSiC. Disiki rinoyangarara regasi rinotaridzika zvakanaka mushure mekuyangarara. Rakabva ratanga kuratidza kukotama kudiki mushure menguva yekushanda tembiricha yakakwira. Takaona kuti yakaratidza musiyano wema micrometer akati wandei mukukora nekuongorora, kukosha kudiki ikoko ndiko kwaikonzera dhisiki rakakombama zvishoma richishanda pa 1500C. Kudzora kwakakodzera kwekufamba kwegasi, chimiro chekupisa uye kutenderera kwedhisiki panguva yekupenda zvinodiwa mukuita, nekuyera ukobvu hwekupenda kuchiyerwa nguva nenguva kudzivirira kudonha kwekutanga kwemamiriro ekuita, uye maitiro ekupenda achagadziriswazve.

Maitiro ekugadzirisa dhisiki reAMAT Gas Float Disk ePrecision Epitaxy Process

Madhisiki anoyangarara egasi mumidziyo ye epitaxy yekushandisa maturusi akanyatsonaka akadai seAMAT Centura akakosha kuti wafer igare zvakanaka panguva yekupisa kwakanyanya. Pane nzira yakasimba inobatanidzwa pakugadzirisa madhisiki akasakara, akaremara kana asina kuputirwa zvakanaka. Chero kukanganisa kupi zvako mukugadzirisa kunokanganisa maitiro egasi cushion uye nekudaro kunaka kwewafer. Chinhu chinonyanya kuongororwa mushure mekugadzirisa ndechekusatambarara kwepamusoro. Kugadzirisa kunofanirwa kusangana nekusatambarara kwakanyanya, sezvo kunyangwe huwandu hushoma hwe warp hunogona kukanganisa kuenzana kwemhepo yegasi. Chero kupwanya kana kupukuta kunofanirwa kuve nechokwadi chekuti huwandu hwakaenzana hwezvinhu hwabviswa pamusoro pese; kusatambarara kwakakwana ndiko kunokonzera kutadza kushanda kwedhisiki. Kugadzirisa kuputira idambudziko rakaomawo. Madhisiki mazhinji akachengetedzwa neCVD TaC nezvimwe zvakafanana. Pakuputirazve, zvakakosha kuve nechokwadi chekuti ukobvu hwe layer hwakaenzana pamusoro pese pedhisiki. Ukobvu hwekuputira husina kuenzana hunoita kuti chikamu ichocho chiite zvakasiyana kana chapiswa uye chinogona kubatsira mukutsvedza kana kusimudza zvisina kuenzana panguva yekushanda. Fabs vakaona madhisiki achiongororwa nemaziso mushure mekugadziriswa, asi anokura asina kugadzikana mushure menguva pfupi nekuda kwekusagadzikana uku. Kunyangwe zvichiita sezvisina basa, kuchenesa usati wagadziriswa kwakakosha zvikuru. Zvinhu zvisina kuchena kana zvigadzirwa zve reaction pa base substrate zvinokanganisa kusimba kwe coating bond itsva. Pane imwe SiC epitaxy line, dhisiki yakagadziriswa yakadzoserwa kugadzirwa uye mushure mevhiki imwe yakaratidza ma vibration marks pa wafer. Kuongorora mushure mekugadziriswa kwedhisiki kwakaratidza kuti zvakasara zvakavharirwa pasi pe repair coating yaive ichikura zvishoma nezvishoma nekuda kwe thermal cycling. Mushure mekugadziriswa, madhisiki anowanzo gadziriswa patembiricha yakakwira kuti aderedze kushushikana kunoitika panguva yekugadzirisa. Vashandi vanoongorora dhisiki panguva iyi kuti vaone zviratidzo zvekutanga zvekukotama kana kusakwira kusingaenderane. Zvakakosha kwete kungogadzirisa kukuvara chete, asi kudzosa chiyero chepakutanga che thermal properties, surface flatness, uye gas flow balance kuona kuti dhisiki yakagadziriswa ichaita seyitsva panguva yekugadzira.

Hukama Pakati Pekupararira Kwekupisa uye Kugadzikana Kwekuchengetera Wafer

Munguva yekuyerera kwegasi pawafer panguva ye epitaxy, kuti kupisa kunopararira zvakaenzana sei padiski nekamuri ndiyo kiyi. Kana kupisa kukapararira zvakaenzana, firimu regasi riri pasi payo richava rakaenzana uye wafer icharamba yakaenzana. Kupisa kusina kuenzana kuchatanga kukanganisa kuenzana kwakasimba. Munguva yemaitiro chaiwo eAMAT Centura, pakati pewafer pachapisa zvakanyanya kupfuura mipendero. Chikonzero cheizvi ndechekuti hita pachayo haisi kugadzira mepu yekupisa yakafanana pamusoro pewafer, uye kutonhora kwegasi kumashure kungasave kwakafanana. Kana wafer ikapisa zvakanyanya panzvimbo imwe, inowedzera zvakanyanya panzvimbo iyoyo chaiyo, iyo inochinja zvishoma maitiro ekuyerera kwegasi pasi. Kana kuyerera kwegasi kwachinja, kukwirira kwewafer kunochinjwa. Rutivi rumwe rwewafer ruchayangarara zvishoma kupfuura rumwe. Kunyange izvi zvingasaonekwa nguva dzose nemaziso asina kupfeka, chishandiso chekugadzirisa chinogona kuverenga izvi sekufamba kudiki kana kutenderera panguva yekukura. Nzira iri nyore yekufungidzira izvi ndeyekufungidzira air hockey puck yakatetepa asi nerutivi rumwe rwenzvimbo yekutamba ruchidziya zvishoma; puck yaizoramba ichiyangarara, asi ichitsvedza kana kurerekera kudivi rinotonhorera repamusoro. Pfungwa yakafanana inoshandawo kune growth chamber. Munguva yekugadzira chaiyo izvi zvichaonekwa sekusiyana kweukobvu hwepakati pama wafers, uye/kana kuchinja kudiki pakurongeka mushure mekumhanya kwenguva refu. Rimwe timu rakanaka rakaona kukura kwe epitaxy kusina kugadzikana mushure mekugadzirisa, uye rakaona kuburikidza nekuongorora kuti pane shanduko yakaitwa pa profile ye heating ye chamber; vakachinja zvishoma nzvimbo inopisa, izvo zvakadzivirira gasi raienzanisa disk kuti rishande sezvarinofanira kuita nekupisa kusina kuenzana.

Kuti vaderedze kusagadzikana kwedhisiki rinofambisa mhepo, vanoishandisa vanowanzo tarisa zvinhu zvitatu zvikuru: ma profiles akafanana ezvinhu zvinopisa, kufamba kwegasi kunogara kuripo, uye chero shanduko pakusakara kweO-ring yekamuri uye pamusoro pedhisiki.

Kugadzirisa Dhizaini yeDiski Inoyangarara yeGasi Kuti Ive Yakavimbika Kwenguva Refu

Kugadzira gasi rinoyangarara dhisiki rekushandisa pamitambo yakawanda mu epitaxy tool kunonyanya kusanganisira kushanda kwekupisa. Haifanirwe kungoshanda pakupisa kwakanyanya chete, inofanira kudaro mushure me100s kusvika 1000s yekumhanya, isina kubuda zvishoma nezvishoma. Sarudzo yezvinhu zvakakosha pano. Substrate midziyo inofanira kukwanisa kupisa pasina kugadzira stress profile yakakura nekufamba kwenguva. Stress dzichaungana kana zvinhu zvine coefficients yakakwira uye zvichikurumidza kupisa. Kuwedzera kwekupisa kwe substrate kunofanirawo kuenderana ne overcoat. Munzvimbo yakanaka kunyange kusawirirana kudiki kwekupisa pakati pezvinhu kuchawedzera nekufamba kwenguva uye dhisiki ichachinja, kunyange pakutanga ingataridzika zvakanaka. Dhizaini yeOvercoat yakakoshawo. Kuvhara kwakaenzana kweCVD TaC padhisiki kuchaibatsira kutora kupisa zvakaenzana pamusoro payo. Kana coating ine ukobvu hwakasiyana, ichave nekupisa kwakasiyana kwehuwandu pamusoro, zvichigadzira kupisa kunokonzerwa nekupisa uko kuchachinja dhisiki nekufamba kwenguva. Zvinotendwa kuti mune mamwe mapoka ekugadzira izvi zvinogona kuitika kwenguva refu sezvo madhisiki achichinja zvishoma nezvishoma kubva pachimiro chakati sandara kuenda pachimiro chakaita dome. Hunhu hwejometri hwakakoshawo. Chero kutsauka mupatani yegomba, ukobvu hwemucheto, nzvimbo dzekutsigira, nezvimwe zvinhu, zvinogona kuchinja maitiro ekuyerera kwegasi pasi pedhisiki. Kuyerera kusina kufanana kunogona kukonzera dhisiki kusimuka zvisina kuenzana mumamiriro ezvinhu ekushanda, zvichikonzera kushushikana kwakanyanya panguva yekufamba kwemhepo inopisa, izvo zvinokurumidzisa kupera. Muenzaniso wedhizaini yakagadziridzwa inoshanda pasi pekumanikidzwa kwemhepo inopisa wakaonekwa pamutsetse weSiC epitaxy; vasati vachinja kuenda kudhizaini yedhisiki yakagadziriswa, vaive nekudonha kwakakosha mushure mekufamba kwenguva refu. Pavakachinja kuenda kudhisiki ine nzira dzakagadziriswa dzekuyerera, kusvetuka kwakadzikira, sezvo chimiro chekusimudza chedhisiki chakachengetedzwa zvakanyatsonaka mukati mekushanda sezvakasimbiswa nekutarisa kwenguva refu kwekuchengetedza kwemadhisiki ekutanga neekuvandudzwa. Kuvimbika kwekupisa kunoenderanawo nehunhu hwekutonhodza. Kana dhisiki ikasatonhorera zvakaenzana, izvi zvinogona "kuvharira" kushushikana uye nekudaro kukonzera kuora kwakanyanya nekufamba kwemhepo. Kunyanya kugadzikana kwenguva refu kunowanikwa nekuwana chiyero pakati pekushanda kwezvinhu ne coating uye kuyerera kwegasi rakagadzirwa kuburikidza nedhisiki.