Chii chinonzi CVD SiC Coated Ceiling uye Basa Rayo Mumakamuri Ekupisa Kwepamusoro-soro

Munguva yekugadzira zvinhu zve semiconductor pakupisa kwakanyanya, shanduko diki pakupisa kwemukamuri dzinogona kukanganisa zvikuru kunaka kwechigadzirwa chako chekupedzisira. Muzviitiko zvakadaro, zvimwe zvinhu zvekune dzimwe nyika zvakaita se Cvd ndizvo Denga rakaputirwa rinogona kushandiswa. Ipende, inokwanisa kutsungirira tembiricha yakanyanya uye inoramba yakachena uye yakagadzikana kwenguva yakareba yekugadzira.

Nzvimbo yekushanda kwedenga muCVD neEpitaxy Chambers

Mukamuri reCVD kana epitaxy, denga harisi chifukidzo chete asi rinoita basa guru mukuita kwese. Kazhinji rinogara pamusoro pechikamu chewafer uye rinobatanidzwa zvakanyanya nehurongwa hwekuendesa gasi. Zvishandiso zvakawanda zvine gasi rinopinda kana shawa rinopinda naro magasi anogadziriswa anopinda mukamuri kuti apararire zvakaenzana mukati maro. Kunyangwe kupararira kwegasi kwakakosha panguva yekuiswa kwefirimu diki, sezvo mawafer achifanira kugamuchira simba rakafanana mukati mekukura kwefirimu. Kana gasi rikapihwa kubva kumusoro, denga rinoita basa mukukura kwekuyerera kwegasi risati rasvika pamusoro pewafer. Kuyerera kusina kufanana kunogona kukonzera mafirimu akakora kune rumwe rutivi rwewafer kupfuura rumwe, izvo zvinozopedzisira zvakonzera kukanganisa muchipu gare gare mumutsara wekugadzira. Nekuva nedenga rakagadzikana, kuyerera kwegasi kwakasimba kunogona kuwanikwa. Chimwe chinhu kugadzikana kwekupisa. Kupisa kwakanyanya kunosvikwa uye kunochengetwa pakupisa kwakakwirira kwenguva yakareba panguva yemamwe maitiro uye izvi zvinoreva kuti denga rinogona kusagadzikana uye rinogona kukotama, kana kuti rinogonawo kuburitsa zvidimbu mukamuri izvo, kunyanya munzvimbo yakachena, zvichaita kuti batch yese yemawafer isashande. Saka, denga rinofanira kunge rakaoma uye rakagadzikana, kazhinji kacho rinenge rakaita serakaoma, rakagadzikana se Cvd sic coating inoshandiswa, sezvo izvi zvichiita kuti sisitimu icheneswe uye kudzivirira kusagadzikana panguva yekudziyisa kakawanda. Mu fab iri kushanda, fab iri kushanda pamidziyo yemagetsi kana ma memory chips, mainjiniya ekugadzirisa anotarisa denga zvakanyanya panguva yekugadzirisa. Vanoongorora kana paine coating isina kuenzana kana kuti particles dziri mukati mayo izvo zvingakanganisa firimu rakatetepa munzvimbo yekugadzira, uye vanowedzera goho remubereko kana zvikamu zvedenga zvacheneswa kana kutsiviwa. Izvi zvinongoitirwa kudzoreredza kuyerera kwegasi kwakajairika. Funga nezvedenga semutongi ari pamusoro pewafers. Harisi kungovapo chete asi rine basa mukutsanangura kuyerera kwegasi, kugadzikana panguva yekupisa kwakanyanya, uye kuti pave nekugadzirwa kwe semiconductor inoshanda, chamber inofanira kunge isina particles dzisingadiwe.

Zvivakwa zveSiC Coating zveNzvimbo Dzinoparadza uye Dzinopisa Zvakanyanya

SiC coating inonziwo silicon carbide uye chinhu chinoshandiswa zvakanyanya sezvo chiri chinhu chakasimba kana zvasvika pakupisa uye kuomarara kwemakemikari. Izvi zvakakosha mumakamuri e semiconductor uko mukati meimba munogara muchisangana nemagasi anodziya zvakanyanya uye anochinja-chinja zuva nezuva. SiC coating inodzivirira ngura zvakanyanya, inova imwe yezvakanakira zvayo. Magasi akadai se silane, ammonia kana magasi ane chlorine anogona kuita zvinhu zvakawanda panguva yeCVD uye epitaxy processes. Magasi aya anogona kuita ngura zvishoma nezvishoma nekufamba kwenguva, achigadzira mavanga kana zvidimbu. Maumbirwo emakemikari eSiC akasimba kwazvo uye haashande nyore nyore nemagasi aya. Izvi zvichabatsira kuchengetedza kugadzikana kwekamuri kwenguva yakareba yekugadzira. Chimwe chinhu chakakosha ikudzivirira kupisa. Pakupisa kwemamwe matanho e semiconductor, coating dzisina simba dzinogona kutanga kutsemuka, kukanganisika kana kuora. Sic coating inochengetedza chimiro chayo nesimba rayo kunyangwe mushure mekupisa kwakanyanya kwenguva refu. Izvi zvinoreva kuti hapana kukanganiswa kwakawanda mukugadzirwa nekuda kwekutsiviwa kwezvikamu uye kubuda kwacho nguva dzose. SiC coating inewo kuomarara kwakanyanya uye kutsetseka pamusoro. Izvi zvinoderedza huwandu hwezvidimbu zvinogadzirwa mukamuri. Mukugadzira machipisi, guruva, zvisinei nekuti diki sei, rinogona kukonzera zvikanganiso pamawafers. Njodzi iyi inogona kuderedzwa nekudzivirira zvidimbu kuti zvisanamatira kana kuungana pamusoro peSiC, izvo zvinogona kuwanikwa nekupa nzvimbo yakatsetseka. Kana zvikamu zvakaputirwa neSiC zvikashandiswa mumafekitori chaiwo, hupenyu hwebasa hwakareba kupfuura hweceramics kana simbi dzisina kuputirwa dzinowanzoshandiswa. Chimwe chiitiko chakadaro ndechekuti kucheneswa kwedenga rekamuri kana SiC coated liner kunowanzodiwa, zvichibatsira kuchengetedza purogiramu yekugadzira yakagadzikana. Chimwe chinhu chinobatsira kugadzikana kwekupisa. SiC inogona kumira shanduko dzekupisa kwakanyanya uye haigone kuputsika. Izvi zvinogona kubatsira mukushandiswa kakawanda kwekudziyisa nekutonhodza, senge maturusi e semiconductor. Kazhinji, SiC coating inoshanda sechidziviriro chinodzivirira kwete chete chinodzivisa kurwiswa nemakemikari, asiwo chinodzivirira nharaunda kuti isasvibe kuti igone kugadzira machipisi nemazvo, uye inogonawo kutsungirira kushushikana kwekupisa.

Mhedzisiro Pakudzora Zvidimbu Uye Kugadzikana Kwemaitiro

Chimwe chinhu chisingazivikanwe pakugadzirwa kwewafer zvidimbu. Zvidimbu zvidiki kwazvo zvakaoma kuona asi zvinokonzera kutadza kwewafer. Kukundikana kwechikamu chimwe chete pawafer kunogona kukonzera kurasikirwa kwegoho kana kurambwa zvachose kwechip. Ndokusaka kudzora zvidimbu muCVD ne epitaxy chamber kwakakosha uye nei SiC coatings yakakosha. Kune nzira mbiri idzo SiC coatings inobatsira mukushandiswa kwezvishandiso kuderedza kuumbwa kwezvidimbu. Chekutanga pamusoro peSiC coatings yakapfava uye yakakora, zvichiita kuti ibvise reaction by-products zviri nyore. Makamuri mazhinji, asina SiC coatings yakakwana, anoumba deposits kwenguva yakati padenga nemadziro. Zvidimbu zvinogona kuzodonhedzwa neiyi coatings pamawafers nekufamba kwenguva. Pamusoro peSiC, kuunganidza kwedeposits kunoitika zvishoma nezvishoma uye kucharamba kwakasimba zvichideredza kubuda kamwe kamwe kwezvidimbu. Chechipiri SiC inodzivirira zvakanyanya kune akawanda reactions. Kana magasi apfuudzwa ne reaction chambers, zvimwe zvezvikamu zvezvikamu zvinotanga kuora kana kuita reaction by-products. Izvi zvinogona kukonzera kuti zvinhu zvakasungwa zvisina kusimba zvipinde mukamuri. Muzviitiko zvakawanda, SiC inonyanya kushata uye inoramba yakagadzikana kwenguva yakareba yekugadzira. Kuchena uku kunobatsirawo kugadzikana kwemaitiro acho pachayo. Kuyerera kwegasi uye tembiricha zvinogara zvakafanana pamazinga ezvimedu zvakaderera. Izvi zvinoita kuti firimu iri pawafer ikure zvakaenzana. Kusafanana kweukobvu hwefirimu, kunyangwe hwakakura panguva yekugadzira memory chip semuenzaniso, kune simba rakananga pachip kana yatanga kushanda. Zvinokwanisika kuderedza kusafanana nekushandisa kamuri rakagadzikana. Kuverengwa kwezvimedu kunotariswa panguva yese yekugadzirisa kamuri. Zvikamu zvakapfekwa zvichatsiviwa neSiC coated versions uye zvinowanzoonekwa kuti kuverenga kwezvimedu kunoderera zvakanyanya, pamwe nekuramba wafer. Uku hakusi kuchinja kwepakarepo, asi maitiro ekuvandudza anogara achienderera mberi ayo acharamba achichinja. Mukicheni yakajairika panguva yekugadzirira chikafu munhu anofanira kuchenesa zvasara nezvimwewo. Nenzvimbo yakapfava, isingatsemuke pane katsika kekusawana zvikamu zvakatsemuka muchikafu. Saizvozvo, zvikamu zvakaputirwa neSiC zveCVD chamber zvinobatsira mukugadzira nzvimbo yakachena yekubika.

Kuenzanisa neQuartz neZvikamu zveGraphite Zvisina Kuvharwa

Zvinhu zvakasiyana-siyana, zvakaita se quartz, graphite, SiC coating, nezvimwewo. Zvinowanzo shandiswa muzvikamu zvemakamuri e semiconductor munzvimbo inopisa, kureva, padenga, liner nezvimwe. Chimwe nechimwe chezvinhu izvi chinoita zvakasiyana kana chiri kupisa, magasi uye nguva refu inodiwa nemaitiro ekugadzira. Quartz ine mukana wekuva yakachena uye yakajeka, saka inoshandiswa kakawanda. Quartz inoita zvakanaka kana iri tembiricha iri pakati nepakati, uye inowanzo shandiswa pakushandiswa kwakawanda kwakajairika. Dambudziko ne quartz rinoonekwa kana rikasangana netembiricha yakakwira, kana makemikari anoparadza. Kucheka, kuputsika, uye kusviba kweruvara zvese zvinetso zvinogoneka sezvo quartz ichikura. Kugadziriswa kwepamusoro kunogona kunge kudiki kunze, asi kunogona kutungamira mumisiyano mikuru mukuyerera kwegasi uye zvidimbu zvinogona kunge zviri mukamuri. Zvingave zvakakosha kuchenesa kana kutsiva zvikamu zve quartz kakawanda mukuita kunoda nguva yakareba yekugadzira. Graphite isina kuvharwa inogona kuwanikwa pazvikamu zvakasiyana mukati memidziyo ye semiconductor. Kushandiswa kwayo muzvikamu zvakaita se susceptors uye wafer carriers kazhinji kunokonzerwa nehunhu hwayo hwakanaka hwekupisa uye kugadzikana kwayo patembiricha yakakwira. Zvisinei, hunhu hwe graphite hunoita kuti igamuchire nyore nyore magasi ekugadzirisa uye zvigadzirwa zve reaction. Guruva rakavharirwa rinogona kusunungurwa uye kusvibisa zvikamu zve process, uye kusangana pakati pegasi ne graphite pachayo kunogona kuitika. Silicon carbide coatings inogona kuiswa pazvinhu zvakadaro asi, nekuda kwezvirambidzo zve process yakachena, hazvidiwi. Zvikamu zvakaputirwa neSiC zvinowira pakati pe quartz ne graphite isina kuputirwa. Zvinoratidza nzvimbo yakakora, yakaoma, isingabatike isingazorwiswe nyore nyore kana kugadzira zvidimbu. Zvinoshanda zviri nani pakupisa kwakanyanya kupfuura quartz. Uye, hapana nzvimbo dzine maburi dziripo dzekubata guruva nemagasi. Mukugadzirwa kwechokwadi, mainjiniya vanoziva kuti kuiswa kweSiC coated ceiling kana SiC liners kunogona kupa nzvimbo dzakachena dzekugadzirisa kwenguva refu. Izvi zvinoderedza kudiwa kwekugadzirisa uye zvinobatsira kuvimbisa mhedzisiro yakafanana batch-to-batch. Zvikamu zvakadaro zvinogamuchirwawo nekuda kwekugara kwenguva refu uye kuchena pakupisa kwakanyanya kune logic inonzwisisika uye zvinhu zvekurangarira. Kunyangwe zvikamu zvakaputirwa neSiC zvisiri mhinduro yakakwana kune ese maitiro, maitiro mazhinji anogona kubatsirwa nehunhu hwazvo hwakachena uye hunogara kwenguva refu mukushandiswa kwakanyanya kupisa, kwakasimba.

Hupenyu Hwese, Kugara Kwekuchengetedza, uye Mari Yekufunga Nezvekuva Muridzi

Hazvisi nyaya yekuti zvikamu zvemukamuri zvinogona kushanda sei pazuva rekutanga. Chinonyanya kukosha ndechekuti zvinogara kwenguva yakareba sei, kuti zvinofanira kutarisirwa kangani uye kuti zvinodhura zvakadii nekufamba kwenguva. Ndipo panotanga kushanda hupenyu hwese, kutenderera kwekuchengetedza, uye mutengo wekuva muridzi wezvinhu. Zvikamu zveQuartz zvinowanzodhura zvishoma pakutanga asi zvinogona kuva nehupenyu hupfupi mumamiriro ezvinhu akaoma. Quartz inoora zvishoma nezvishoma pakupisa kwakanyanya, kana kana ikasangana nemagasi akasimba anochinja. Inogona kuchekwa, kusviba kana kutotsemuka mushure mekutenderera kwakadzokororwa. Izvi zvinoreva kuti kuongororwa nguva nenguva uye kutsiva kunodiwa. Kana mitsetse yekugadzira yakabatikana zvikuru, nguva yega yega yekuchinja zvikamu inogona kukanganisa kuronga kwekubuda. Graphite isina kuputirwa iri panzvimbo imwe. Inodzivirira kupisa uye mune mamwe mashandisirwo inogara kwenguva yakareba kupfuura quartz. Zvisinei, ichinhu chine maburi uye ine tsika yekuunganidza tsvina yemukati nekufamba kwenguva nekuda kwemagasi ekugadzira ari kunyudzwa panguva yekugadziriswa. Izvi zvinogona kukonzera kuburitswa kwezvikamu zvisingawirirane munzira. Kunyangwe zvikamu zvacho zvakacheneswa, kutsiva kunodiwa nguva dzose mune zvimwe zviitiko. Kazhinji, zvikamu zvakaputirwa neSiC zvinodhura zvakanyanya pakutanga asi zvine hupenyu hwakareba hwebasa kana zvichishandiswa. Kuputirwa kwacho kwakakora kwazvo, uye kupera kunoitika zvishoma nezvishoma kupfuura zvazvaizove nekuda kwekurwiswa nemakemikari uye kushushikana nekupisa. Machira mazhinji anogona kugara kwenguva refu pasina kuronga kugadzirisa. Izvi zvinogona kuderedza njodzi yekusashanda kwenguva isingatarisirwi uye kupa kugadzirwa kwakasimba. Muzviitiko zvakawanda zviri nyorewo kuita maitiro ekugadzirisa. Nguva dzekuchenesa dzinogona kuwedzerwa nekuti pane madhipoziti mashoma uye kuunganidza zvidimbu zvishoma. Izvi hazvibvisi kugadzirisa asi zvinoita kuti zvive nyore kufungidzira. Mainjiniya anogona kuronga nguva yekusashanda, pane kugadzirisa matambudziko asingatarisirwi. Maonero emutengo wekuva muridzi haasi chete pamutengo wekutanga wekutenga. Inofukidza kuwanda kwekutsiva, kurasikirwa negoho, vashandi uye nguva yekusashanda. Zvisinei, munzvimbo chaiyo yekugadzira, kunyanya mumachira e semiconductor akakwira, zvikamu zvakaputirwa neSiC zvinowanzo kuratidza kukosha kukuru nekufamba kwenguva, nekuderedza kukanganiswa kwemaitiro uye kuchengetedza mhando yemaitiro.