SiC Ceramics

SiC ceramics dzinoshandiswa zvakanyanya mumidziyo ye semiconductor, kunyanya nekuti dzinogara zviri nani mumamiriro ezvinhu akaoma. Kana tembiricha yakwira kana maitiro acho akanyanya kusimba, zvinhu zvakaita se quartz kana silicon zvinogona kutanga kuratidza miganhu, uye ndipo panowanzo shandiswa SiC. Mumaitiro echoto akadai se oxidation kana diffusion, zvikamu zvakaita se wafer boats kana paddles zvakagadzirwa neSiC zvinowanzogara kwenguva refu. Zvinoramba zvakaita chimiro chazvo uye hazviunzi kusvibiswa kwakawanda, kunyangwe mushure mekufamba kwenguva refu. Vanhu vanowanzo chinja kubva ku quartz nekuda kwechikonzero ichi, kunyanya kana kugadzirisa kwacho kwanyanya kuwanda.

Pakuchekwa, SiC inowanzo sarudzwa nekuti inogara kwenguva refu muplasma. Musiyano wehupenyu hwese kana uchienzaniswa nezvikamu zvesilicon unoonekwa mumasetup akawanda, kunyangwe zvichiri zvichienderana nemaitiro chaiwo. Inobatsirawo zvishoma nekudzora zvidimbu, izvo zvinova nyore kunzwa kana ma node achiderera. Uchaonawo SiC ichishandiswa se susceptors muMOCVD kana CVD. Muzviitiko izvozvo, hazvinyanyi kukosha "simba" asi zvakanyanya kukosha kuchengetedza maitiro ekupisa akagadzikana. Kunze kweizvozvo, inoonekwa muzvikamu zvekamuri zvakaita se liners kana showerheads, uye dzimwe nguva mukubata zvikamu zvakare.