CVD Silicon Carbide (SiC) Coating

Kuputira kweCVD SiC imhando yesilicon carbide layer yakaiswa pagraphite, uye inoshandiswa zvakanyanya muzvishandiso zve epitaxy uko tembiricha nekuchena zvakakosha. Mumitsetse chaiyo yekugadzira, unowanzoiona mumasisitimu kubva kuAIXTRON, ASM/LPE, Veeco, pamwe nemamwe mapuratifomu ane chekuita neAMAT. Chinoita kuti ibatsire haisi kungodzivirira tembiricha chete, asi kugadzikana kwayo kwese panguva yakareba. Pasi pemamiriro ezvinhu e epitaxy - hydrogen, ammonia, kana kunyange magasi ane chlorine - kuputira kunoramba kwakasimba uye kunodzivirira graphite iri pasi. Izvi zvinobatsira kuchengetedza nzvimbo yekupisa yakafanana uye zvinoderedza mukana wekuti zvidimbu zvioneke panguva yekukura.

Kazhinji, chifukidziro chinoiswa pazvikamu zvakaita semasusceptors, mawafer carriers, graphite rings, kana zvikamu zvehafu-mwedzi. Izvi zvese zvine chekuita nekudziya kana kuisa wafer panzvimbo yayo, saka chero kusagadzikana kudiki kunogona kukanganisa goho. Nekuda kweizvozvo, zvikamu zvakaputirwa zvinowanzoonekwa sezvinhu zvinodyiwa zvichiri kuda kuvimbika pamatanho akawanda, kunyanya mukugadzirwa kwemainchi 4 kusvika 12.