CVD Tantalum Carbide (TaC) Coating

Kuputira TaC kunowanzo fungwa kana SiC yatanga kusvika pamiganhu yayo. Izvi zvinoitika kakawanda mukukura kweSiC epitaxy kana crystal, uko tembiricha uye mamiriro ekunze zvinonetsa zvakanyanya.

Nepokunyunguduka kwakanyanya, TaC inobata zviri nani nguva refu kana paine tembiricha yepamusoro, kunyanya munzvimbo dzine hydrogen kana HCl. Muchokwadi, izvi zvinoita mutsauko mumaitiro akadai sekukura kwePVT, uko kugadzikana kwekupisa kunokanganisa zvakananga kunaka kwekristaro.

Mashandisirwo akajairika anosanganisira mhete dzinotungamirira kuyerera kwemvura, zvinobata mbeu, zvikamu zvine chekuita nekurovera, nezvimwe zvinhu zviri mukati memunda wekupisa. Zvikamu izvi zvinosangana nemamiriro ekunze akaoma kwenguva yakareba, saka kuderedza kuora kunova kwakakosha. Mune mamwe magadzirirwo, TaC iri kutsiva zvishoma nezvishoma zvinhu zvekare zvakaita sepBN, uye kunyange zvimwe zvikamu zvakaputirwa neSiC, kunyange izvi zvichiri zvichienderana nemari uye dhizaini yemaitiro.